
في قسم التصنيع، يتم تقليل سمك الرقاقات إلى 50 ميكرومتر، لكن ذلك يؤدي إلى انخفاض جودة الإنتاج بسبب عدم توحيد درجة الحرارة أثناء عملية التجفيف. كما أن درجة حرارة المواد المستخدمة في عملية الطباعة تتغير باستمرار، وهو ما يؤدي إلى مشاكل في عملية التغليف. لذلك، صممنا أجهزة تسخين بالأشعة تحت الحمراء للتغلب على هذه المشاكل الحرارية.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم أجهزة إصدار أشعة تحت الحمراء ذات استجابة حرارية سريعة، بحيث نصل إلى درجة الحرارة المطلوبة في ثوانٍ قليلة، دون حدوث أي تجاوزات في درجة الحرارة. في المنطقة النشطة، تظل درجة الحرارة ثابتة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن تكرار العملية يكون دقيقًا، لأن أجهزة الإصدار تتدهور بشكل متوقع مع مرور الوقت. يمكن استخدام هذا النظام في غرف نظيفة من الفئة 1–100، كما أننا نقلل من تكوّن الجسيمات باستخدام نوافذ كوارتز مغلقة وطرق لتقليل إطلاق الغازات. يتم تعديل كثافة الطاقة بحيث تكون كافية لتسريع تبخر المذيبات، لكنها في نفس الوقت لا تكون عالية بما يكفي لإتلاف السطح الخلفي للرقاقة.
لماذا ينجح هذا النظام في مكان عملنا؟ في عملية تجفيف الرقاقات، تؤدي أشعة تحت الحمراء إلى تسريع عملية التجفيف، مما يقلل من الوقت اللازم لذلك. في عملية معالجة المواد المستخدمة في الطباعة، تساعد أشعة تحت الحمراء في الحفاظ على درجات الحرارة المطلوبة لضمان دقة الأبعاد وشكل الجوانب. أما في عملية التغليف، فإن أشعة تحت الحمراء تساعد في الحفاظ على درجات الحرارة المناسبة لعملية التغليف، دون حدوث أي صدمات حرارية. النتيجة هي قلة الحاجة إلى إعادة المعالجة، واستقرار مستوى العيوب، بالإضافة إلى إمكانية التخطيط لمعدلات الإنتاج بشكل أفضل. كما أن استهلاك الطاقة يقل أيضًا، لأن الأجهزة تعمل في حالة استقرار لفترات أطول.
ما الذي يجب أن تعرفه مسبقًا؟ أشعة تحت الحمراء تعمل عبر خط الرؤية، لذا يجب أن يتناسب موقع أجهزة الإصدار مع شكل الرقاقات وترتيبها. يجب الحفاظ على الأسطح المعدنية العاكسة والأسطح الكوارتزية نظيفة، وإلا فإن هناك مناطق ساخنة في الأطراف. يجب أيضًا توفير إمدادات طاقة مناسبة ونظام للتحكم في درجة الحرارة، حتى تظل جدران الغرفة باردة. بمجرد تحقيق التوازن، يصبح نطاق العملية واسعًا، لكن درجة التسامح في الإعدادات منخفضة.