কেন ফ্যাবিলিটিগুলোতে হট এয়ারের পরিবর্তে আইআর ব্যবহার করা হচ্ছে?
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণ নিয়ে কাজ করে থাকেন, তাহলে আপনি অবশ্যই ঐতিহ্যবাহী হট এয়ার পদ্ধতি সম্পর্কে জানেন। এখানে আপনি একটি বিশাল বায়ুমণ্ডলকে উত্তপ্ত করেন, আর আশা করেন যে সেই তাপ ওয়েফারে কার্যকরভাবে পৌঁছাবে। কিন্তু এখানে একটি সমস্যা রয়েছে— বায়ুটি উত্তপ্ত হওয়ার আগেই ওয়েফারটি উত্তপ্ত হয় না।
ইনফ্রারেড (আইআর) হিটিং পদ্ধতিতে এই মধ্যবর্তী ধাপটি বাদ পড়ে। এখানে শক্তি সরাসরি ওয়েফারে পৌঁছায়; বায়ু উত্তপ্ত হওয়ার জন্য অপেক্ষা করার দরকার নেই।
সময় সবসময়ই গুরুত্বপূর্ণ
হট এয়ার পদ্ধতির সবচেয়ে বড় সমস্যা হলো অপেক্ষা করতে হওয়া। চেম্বারটি স্থিতিশীল হওয়ার জন্য মিনিটের পর মিনিট অপেক্ষা করতে হয়। এটা খুবই কষ্টকর।
অন্যদিকে, আইআর ল্যাম্পগুলো “ইনস্ট্যান্ট-অন” ধরনের। সুইচ চাপলেই কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই কাঙ্ক্ষিত তাপমাত্রা অর্জিত হয়।
যখন আপনি উচ্চ-পরিমাণে উৎপাদন করছেন, তখন এটাই সবচেয়ে বড় সুবিধা। প্রতি প্রক্রিয়ায় মাত্র ৩০ সেকেন্ড সময় সাশ্রয় হলেও, হাজার হাজার প্রক্রিয়ার ক্ষেত্রে এটা বিশাল পরিমাণে সময় সাশ্রয় হয়।
ঠিক যেখানে দরকার, সেখানেই তাপ পৌঁছানো
আমরা সবাই ৩০০ মিমি ওয়েফারের ক্ষেত্রে “কোল্ড স্পট” সমস্যার মুখোমুখি হয়েছি। হট এয়ার পদ্ধতিতে এডজেস্ট করার জন্য পুরো বায়ুপ্রবাহ ব্যবস্থাকে অতিরিক্তভাবে ডিজাইন করতে হয়।
আইআর পদ্ধতিতে এমন সমস্যা নেই। আমরা ল্যাম্পগুলোকে নির্দিষ্ট স্থানে সাজিয়ে রাখতে পারি; ফলে তাপ বণ্টন নিয়ন্ত্রণ করা সহজ হয়।
এছাড়াও, এখানে ব্যবহৃত যন্ত্রপাতিগুলো ছোট হয়। বড় ব্লোয়ার ও ডাক্টগুলো বাদ দেওয়া যায়; ফলে ক্লিনরুমের জায়গা সাশ্রয় হয়।
কিন্তু কিছু সমস্যা রয়েছে…
আইআর পদ্ধতিটি সব সমস্যার সমাধান নয়। কারণ তাপ খুবই ঘনীভূত থাকে; তাই যদি PID কন্ট্রোলারগুলো সঠিকভাবে কাজ না করে, তাহলে ওয়েফারের পৃষ্ঠ ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে। এজন্য দ্রুত-প্রতিক্রিয়াশীল পাইরোমিটার প্রয়োজন।
আর পাওয়ার সংক্রান্ত বিষয়েও সাবধান থাকতে হবে— ল্যাম্পগুলো জ্বলে ওঠার সাথে সাথেই প্রচুর পরিমাণে বিদ্যুৎ ব্যবহৃত হয়। যদি আপনার ইলেকট্রিক্যাল প্যানেলটি পুরানো বা অপর্যাপ্ত হয়, তাহলে সঠিকভাবে কাজ করার আগেই ব্রেকারগুলো বন্ধ হয়ে যেতে পারে।