সময় নষ্ট করা বন্ধ করুন: কেন ভ্যাকুয়াম আইআর হিটিংই সবচেয়ে ভালো উপায়?
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে কাজ করে থাকেন, তাহলে আপনি এই প্রক্রিয়াটি সম্পর্কে জানেন। আপনাকে অপেক্ষা করতে হয়—জিনিসগুলো গরম হওয়ার জন্য, আবার ঠান্ডা হওয়ার জন্যও। দীর্ঘদিন ধরে আমরা কাজটি সম্পন্ন করার জন্য ফোর্সড এয়ার ব্যবহার করেছি; কিন্তু ভ্যাকুয়াম-সংগত আইআর হিটার ব্যবহার করলে পুরো প্রক্রিয়াটাই পরিবর্তিত হয়ে যায়।
আসলে ব্যাপারটা হলো—তাপটি কীভাবে ওয়েফারে পৌঁছায়। এয়ার কনভেকশন ব্যবহার করলে ঘরটিকে গরম করতে অনেক সময় লাগে; কারণ বাতাসকেই শক্তি পরিবহন করতে হয়। আর উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশে তো বাতাসই থাকে না। আপনি যা নেই তা কীভাবে সরাবেন? আইআর হিটারগুলো মধ্যবর্তী উপায়গুলো এড়িয়ে সরাসরি তাপকিরণ পাঠায়।
এটা অবিলম্বি হয়।
এয়ার সিস্টেমে যে “থার্মাল ল্যাগ” থাকে, সেটা এখানে নেই। আপনাকে আগে বাতাসকে গরম করতে হয় না, তারপর দেয়ালগুলোকে… শর্ট-ওয়েভ আইআর ল্যাম্পগুলো ব্যবহার করলে শক্তি সরাসরি ওয়েফারে পৌঁছায়। এর ফলে প্রসেসিং সময় ৬০% থেকে ৮০% পর্যন্ত কমে যায়। যখন আপনার ফ্যাক্টরি ২৪/৭ কাজ করে, তখন এই সময় সাশ্রয় হয় অনেক বেশি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য।
কিন্তু আপনি যেকোনো ল্যাম্পকে ভ্যাকুয়ামে ব্যবহার করতে পারবেন না।
আমরা বিশেষ ধরনের কোয়ার্টজ এনভেলাপ ও সিলান্ট ব্যবহার করি; কারণ “আউটগ্যাসিং” একটি বড় সমস্যা। যদি হিটারটি রাসায়নিক পদার্থগুলোকে ভ্যাকুয়ামে ছড়িয়ে দেয়, তাহলে আপনার সিলিকন দূষিত হয়ে যাবে এবং ভ্যাকুয়ামের অবস্থা নষ্ট হয়ে যাবে। এটা খুবই ঝামেলার ব্যাপার। তাই আমরা এগুলোকে ছোট কিন্তু শক্তিশালী করে তৈরি করি—যাতে আপনি ঠিক যেখানে প্রয়োজন সেখানেই উচ্চ তাপ পেতে পারেন, আর পুরো ভ্যাকুয়াম ভেসেলটি ওভেনে পরিণত না হয়।
সত্যি বলতে, আইআর হিটিং কোনো জাদু নয়। এরও কিছু সমস্যা রয়েছে।
যেহেতু তাপ স্থানান্তর খুব দ্রুত ঘটে, তাই লক্ষ্য তাপমাত্রা অতিক্রম করা সহজ। যদি PID লুপটি ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে আপনি লক্ষ্য তাপমাত্রা অতিক্রম করে ফেলবেন। আর রিফ্লেকশনের সমস্যাও রয়েছে। যদি চেম্বারের দেয়ালগুলো এই ধরনের রেডিয়েশন সহ্য করতে না পারে, তাহলে আপনার দামি যন্ত্রপাতিগুলোই গরম হয়ে যাবে, আপনি যে অংশটি প্রক্রিয়াকরণ করছেন সেটা নয়।
আমাদের সমাধান কী? সোনায় মোড়ানো হিট শিল্ড ব্যবহার করা। এটা শক্তিকে ঠিক ওয়েফারের উপর কেন্দ্রীভূত করে, অপচয় রোধ করে, আর আপনার কুলিং সিস্টেমকে অতিরিক্ত কাজ করতে বাধ্য না করে।