Im Produktionsbereich reicht bereits eine Temperaturabweichung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists aus, um einen 300-mm-Wafer unbrauchbar zu machen. Die Temperaturregelung ist daher keine Nebenaufgabe – sie ist vielmehr die Grundvoraussetzung für einen reibungslosen Ablauf des Prozesses. Wir haben unsere NIR-Heizplattform so konzipiert, dass eine Temperaturstabilität auf dem Niveau von ±0,1 °C gewährleistet wird. Dadurch bleiben auch bei den empfindlichen Maßen während des Trocknungsprozesses die erforderlichen Werte erhalten.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Nahinfrarot-Heizesysteme in Kombination mit schnell reagierenden Kohlenstofffaserkomponenten. Dadurch wird eine schnelle Temperaturerhöhung ohne Überschreitung der Grenzwerte ermöglicht. Die Schleifensteuerung sorgt dafür, dass die Temperatur über den gesamten Wafer gleichmäßig bleibt – selbst dann, wenn der Trocknungsprozess weniger als eine Minute dauert. Die Konstruktion der Heizplattform berücksichtigt außerdem die Anforderungen eines Reinraums: Materialien mit geringer Gasemission, gefilterte Luftwege sowie Oberflächen, die während des Betriebs keine Partikel freisetzen. Dadurch werden wiederholbare Trocknungsprofile erzielt, und der Energieverbrauch hängt vom Zykluszeitraum ab – nicht von unnötiger Wärmeabgabe.
Warum das wichtig ist
In der Lithografie und beim Bearbeiten von Photoresisten ist die Temperaturuniformität entscheidend für die Genauigkeit der Ergebnisse. Unsere NIR-Heizer passen sich an die thermischen Anforderungen moderner Chips an – dadurch wird eine bessere Kontrolle über die Rauheit der Chipkanten erreicht, was wiederum zu weniger Nacharbeiten führt. Das Ergebnis sind weniger Ausfälle, stabilere Erträge und eine höhere Verfügbarkeit der Anlage. In Verpackungslinien bedeutet diese Präzision eine konstante Qualität der Produkte – somit werden Ausschuss und Nacharbeiten reduziert.
Was Sie beachten müssen
Die Heizplattform erfüllt die internationalen Standards für Halbleiterausrüstung und passt zu den bestehenden Anlagen. Dennoch muss bei der Integration auf die Anforderungen bezüglich Reinraumklassen, Luftführungssystemen sowie der Stromversorgung geachtet werden. Es besteht eine kurze Einarbeitungsphase, in der die Parameter der Anlage eingestellt werden müssen. Danach funktioniert die Anlage mit minimalen Anpassungen.