In den Fertigungsanlagen ist die Trocknung des Fotolacks keine Frage, über die man diskutieren muss. Es geht einfach darum, eine zuverlässige Temperaturregelung sicherzustellen. Schon eine Abweichung von einem halben Grad kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen der Wafer nicht mehr genau eingehalten werden können. Dadurch gehen Stunden an Lithografiearbeit verloren.
Die IR-Lampe sowie ihr Quarzkörper befinden sich genau in der Mitte dieses thermischen Kreislaufs. Wenn der Quarzkörper dieser Anforderungen nicht gerecht werden kann, hat das negative Auswirkungen auf die Produktion.
Was wirklich wichtig ist: Wir haben den Quarzkörper so konstruiert, dass er kurzwelliges und mittelwelliges Infrarotlicht genauso gut durchlässt wie der Fotolack während des Trocknungsprozesses. Die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche bleibt dabei bei ±0,1°C – genau das, was man für eine präzise Kontrolle der Produktabmessungen benötigt.
Der Quarzkörper eignet sich auch für Reinräume der Klasse 1–100. Selbst bei wiederholten Temperaturentfernungen bleibt die Anzahl der Partikel auf der Oberfläche unter dem zulässigen Wert. Wir haben ihn für eine 24/7-Nutzung entwickelt – seine Leistungsfähigkeit wurde bereits über 5.000 Stunden hinweg getestet.
Warum er in der Produktion funktioniert: Im Produktionsprozess sorgt der Quarzkörper für Reproduzierbarkeit – ohne thermische Verzögerungen oder Hotspots. So entstehen weniger defekte Wafer aufgrund von Problemen an den Rändern. Zudem bleibt die Homogenität der kritischen Abmessungen über die gesamte Charge hinweg hoch.
Durch die effiziente Übertragung des Infrarotlichts sinkt außerdem der Energieverbrauch. Die Lampe benötigt weniger Strom, während trotzdem das gewünschte Temperaturniveau erreicht wird. Zudem handelt es sich um eine alternative Lösung, die mit den Standards der Hersteller übereinstimmt – sie passt in die vorhandenen IR-Lampen ohne dass der gesamte thermische Aufbau neu kalibriert werden muss.
Dinge, die man nicht ignorieren darf: Die Montagetoleranzen sind sehr streng. Der Quarzkörper muss genau an den vorgeschriebenen Stellen platziert werden – sonst entstehen Schatten effekte und lokale Erwärmungen. Vor dem Umstellen der Anlage sollte man den Typ des Lampenanschlusses sowie die Abmessungen des Quarzkörpers überprüfen.
Man sollte den Quarzkörper nur mit Werkzeugen und Handschuhen aus Reinräumen bedienen. Ein Fingerabdruck auf dem Quarzkörper kann zu thermischen Defekten führen. Der Quarzkörper sollte regelmäßig ausgetauscht werden – nicht erst dann, wenn er kaputt ist. Andernfalls riskiert man Probleme mit dem thermischen System und der Betriebszeit der Anlage.