Einführung Seien wir ehrlich: In der Halbleiterherstellung ist es nicht nur ein Ziel, die Kosten niedrig zu halten – es handelt sich dabei vielmehr...

Auf dem Fertigungsboden stoppt der Ausfall einer Lampe in einem RTP-Werkzeug nicht nur eine Kammer – er stoppt die gesamte Linie. Temperaturdrift...