در کارخانههای تولید، تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در دمای پخت، باعث تغییرات نانومتری در پروفایل فوتورزیست میشود؛ و این نانومترهاست که میزان بازدهی تولید را تعیین میکنند. در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش فوتورزیست، بودجه حرارتی صرفاً یک راهنما نیست؛ بلکه خود همان فرآیند تولید است. ما گرمکنهای صنعتی برای کارخانههای تولید ویفر در سراسر جهان طراحی میکنیم؛ این گرمکنها به گونهای ساخته شدهاند که بودجه حرارتی را در طول فرآیند تولید، ثابت نگه دارند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:
گرمکنهای ما، یکپارچگی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنند؛ بنابراین پروفایلهای مربوط به فرآیندهای پخت، در هر دور تولید قابل تکرار خواهند بود. عناصر کوارتزی، که در انواع موجکوتاه و موجمتوسط موجود هستند، امکان کنترل دقیق دما را فراهم میکنند. ساختار این گرمکنها به گونهای است که مواد کمگاز تولید کنند و ساختار مکانیکی آنها اجازه نمیدهد ذراتی در فضای کاری تجمع کنند؛ بنابراین تعداد ذرات در طول چرخههای حرارتی ثابت باقی میماند. عدم تولید ذرات، صرفاً یک شعار نیست؛ بلکه یک الزام است که از طریق اندازهگیریهای دقیق بررسی میشود.
چرا این گرمکنها در تولید موفق عمل میکنند؟
شما باید ۲۴ ساعته کار کنید؛ هرگونه توقف غیرمنتظره منجر به اتلاف ویفرها و کاهش ظرفیت تولید میشود. این گرمکنها برای کار مداوم طراحی شدهاند؛ با فواصل تعمیرات قابل پیشبینی و خروجی پایدار، حتی پس از ۵۰۰۰ ساعت کار. ما مصرف انرژی را در حد معقول نگه میداریم، بدون اینکه دقت تنظیمات دما کاهش یابد؛ بنابراین این گرمکنها میتوانند در خطوط تولید جدید و خطوطی که مورد بازسازی قرار گرفتهاند، استفاده شوند. نتیجه این کار، کنترل دقیق ابعاد، کاهش تعداد محصولات باکیفیت پایین، و فرآیند حرارتی قابل اعتماد است.
جزئیات عملی:
این گرمکنها قابل استفاده مستقیم نیستند؛ برای استفاده از آنها، باید ولتاژ، نوع کانکتور، سیستم محافظتی و سایر مشخصات لازم را در نظر گرفت. ما ابتدا نقشههای فنی و مشخصات کنترلی لازم را ارائه میدهیم، اما اتصال حرارتی به صفحه کار و مسیرهای جریان هوا در اتاق تمیز، همچنان نیاز به بررسی در محل دارد. لازم است یک بازه زمانی کوتاه برای تنظیمات لازم در نظر گرفته شود؛ این تنها راه برای دستیابی به یکپارچگی مورد نیاز در فرآیند تولید است.