رساندن گرما به جای مناسب آن
اکثر سیستمهای گرمایشی مبتنی بر امواج مادون قرمز، در واقع نامنظم عمل میکنند؛ یعنی انرژی را در همه جا پخش میکنند. وقتی که مشغول بستهبندی سنسورهای هوشمند هستید، بهخصوص در سطح ویفر، نمیخواهید که بدنه دستگاه تمام آن گرما را جذب کند. شما میخواهید که گرما مستقیماً به سیلیکون برسد.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. این روش، در واقع راهی برای جلوگیری از هدر رفتن انرژی و هدایت آن به سمت مقصد مورد نظر است.
چرا طلا؟
شاید این موضوع کمی پیچیده به نظر برسد، اما در واقع کاملاً عملی است. طلا در بازتاب امواج مادون قرمز بسیار مؤثر است. با قرار دادن لایهای دقیق از طلا روی بازتابنده، میتوانیم از جذب گرما توسط سیستم جلوگیری کنیم.
در نتیجه، به جای گرمای پراکنده، یک پرتو گرم و متمرکز خواهیم داشت. بهترین نکته این است که میتوانیم گرمای بیشتری را به ویفر برسانیم، بدون اینکه نیاز به افزایش توان منبع تغذیه باشد. این روش، ابزارهای ساده را به ابزارهای دقیق تبدیل میکند.
مشکل “نقاط گرم”
مشکل اینجاست که وقتی انرژی را به این شکل متمرکز میکنیم، شرایط بسیار حساس میشود.
اگر لایه طلا کمی ناهموار باشد یا فرم آن کمی متفاوت باشد، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد. در این صنعت، نقاط گرم واقعاً مشکلات جدی ایجاد میکنند؛ زیرا میتوانند ویفر را تخریب کنند یا بستهبندی سنسورها را از بین ببرند.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم نقطه تمرکز انرژی میکنیم. ما مطمئن میشویم که انرژی به طور یکنواخت در سراسر سطح پخش شود، تا نیازی به نگرانی درباره تخریب محصولات نباشد.
مزایا و معایب
هیچ چیز کامل نیست. طلا عالی است، اما کمی حساس است.
اگر فضای تمیزکاری مناسب نباشد یا کسی از مواد شوینده نامناسبی استفاده کند، لایه طلا میتواند پوسته بردارد یا اکسید شود. باید مزایای افزایش کارایی را در مقابل تلاشهای لازم برای حفظ سطوح تمیز، در نظر بگیریم.
همچنین، از آنجایی که گرمای بیشتری در یک ناحیه کوچک تولید میشود، سیستمهای خنککننده باید قادر به مقابله با این بار حرارتی باشند. اگر آنها نتوانند با بار حرارتی در لبههای ویفر کنار بیایند، سطح ویفر دچار گرمای بیش از حد خواهد شد.
یک نکته آخر: مطمئن شوید که منبع تغذیه شما کاملاً قوی باشد. هرگونه نوسان در ولتاژ، فرکانس امواج مادون قرمز را تغییر میدهد و این امر باعث اختلال در دمای فرآیند خواهد شد.