Comment assurer un séchage optimal des wafer : pourquoi l’or est essentiel
Le séchage des wafer représente une véritable équilibre délicat. Il faut que l’eau disparaisse rapidement, mais il ne faut pas non plus laisser de traces d’eau ou de poussière sur les wafer. C’est vraiment un jeu à haut risque.
La plupart du temps, nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or pour s’assurer que l’énergie infrarouge émise par les chauffages atteigne bien les wafer. Sans eux, une grande partie de cette chaleur disparaît simplement dans les parois de la chambre de séchage. C’est donc une perte d’énergie inutile.
Pourquoi l’or ?
Pensez aux réflecteurs en aluminium ordinaires : ils sont acceptables, mais ils absorbent beaucoup trop d’énergie. L’or, lui, est incroyablement efficace pour renvoyer les rayons infrarouges là où ils doivent aller.
Lorsque nous façonnons un réflecteur en or, nous permettons aux rayons dispersés de se concentrer en un seul faisceau. Ainsi, on peut transmettre plus de chaleur aux wafer, sans avoir besoin d’augmenter la puissance électrique nécessaire. C’est une façon intelligente de focaliser l’énergie.
Le problème “caché”
J’ai souvent rencontré ce problème lors d’audits énergétiques. On trouve des lignes de séchage où les lampes fonctionnent à pleine capacité, mais la température des wafer n’atteint toujours pas le niveau souhaité.
La plupart des gens pensent que les lampes ne sont pas assez puissantes. Mais en réalité, les lampes fonctionnent correctement ; c’est juste que la chaleur s’échappe. En utilisant des réflecteurs en or, on obtient plus de chaleur utile pour chaque watt consommé.
Les difficultés
L’or n’est pas magique. En fait, c’est un matériau plutôt fragile. Si vous utilisez des gaz corrodants ou des produits chimiques agressifs pour nettoyer vos équipements, le revêtement en or peut se détacher ou s’oxyder. Une fois cela arrivé, la réflectivité diminue. Il faut donc être très prudent quant à l’épaisseur du revêtement, et il faut également être doux lors du remplacement des lampes. Un simple rayure peut ruiner tout l’effet du revêtement en or.
Vaut-il le coup ?
Si vous gérez une ligne de production à grande échelle, alors oui, cela en vaut la peine. Une augmentation de 5 % de l’efficacité thermique ne semble pas grand-chose en théorie, mais cela permet des économies d’électricité considérables et accélère les temps de traitement. De plus, si votre système de refroidissement a déjà du mal à faire face, cela aide énormément. Comme moins de chaleur s’échappe, votre système de refroidissement n’a pas à travailler autant. Tout le monde gagne.