Sur le site de fabrication, on épaissit les plaques jusqu’à 50 µm, puis on observe une diminution de la qualité des produits, car le séchage n’est pas homogène. Les profils du photo-résistant changent lorsque la température de séchage varie. Les revêtements utilisés pour l’emballage se fissurent lorsque la température de durcissement augmente brusquement. Nous avons conçu des chauffages à infrarouges afin d’éliminer ces fluctuations thermiques.
Ce qui est important sur le plan technique : Nous utilisons des émetteurs à infrarouges à ondes courtes, avec une réponse thermique rapide et directe. Ainsi, nous atteignons rapidement la température souhaitée, sans excès de chaleur. Dans toute la zone active, l’uniformité de la température reste comprise entre ±0,1°C. La répétabilité des résultats est assurée, car les émetteurs perdent progressivement leur efficacité. Ce système convient aux salles propres de classe 1–100. De plus, nous limitons la génération de particules grâce à des fenêtres en quartz scellées et à un système de gestion du gaz. La densité énergétique est adaptée aux plaques épaissies : elle suffit pour faire évaporer rapidement les solvants, mais reste suffisamment faible pour éviter toute contrainte sur la surface arrière de la plaque et tout risque de déformation.
Pourquoi ça marche chez nous : Lors du séchage des plaques, les rayons infrarouges agissent directement sur la couche d’eau, ce qui raccourcit le cycle de séchage et diminue la consommation d’énergie. Lors du traitement du photo-résistant, ces rayons permettent de maintenir les températures nécessaires pour obtenir des dimensions précises et des profils de parois cohérents. Pour l’emballage, ils assurent un durcissement contrôlé, sans chocs thermiques. En résumé, cela permet de réduire le nombre de produits à retraiter, d’obtenir des résultats stables et de planifier plus facilement la production. La consommation d’énergie diminue également, car les chauffages fonctionnent moins longtemps en mode veille.
Ce que vous devez savoir au préalable : Les rayons infrarouges nécessitent une ligne de vue droite ; donc, l’emplacement des émetteurs doit correspondre à la géométrie du support sur lequel reposent les plaques. Il faut également éviter l’utilisation de surfaces réfléchissantes ou de surfaces en quartz sales, sinon des points chauds apparaîtront aux bords des plaques. Il est nécessaire d’avoir un alimentation électrique dédiée et un système de gestion thermique efficace pour maintenir les parois de la chambre à basse température. Une fois que tout est bien ajusté, la marge de manœuvre est grande – mais les tolérances de montage sont strictes.