बिना किसी परेशानी के MEMS वेफरों को सुखाना
MEMS सेंसर वेफरों को सुखाना एक चुनौतीपूर्ण कार्य है। वेफरों से पानी हटाना आवश्यक है… लेकिन अगर इस प्रक्रिया में जरूरत से अधिक ऊर्जा का उपयोग किया जाए, तो थर्मल स्ट्रेस पैदा हो सकता है, या वेफरों पर अवांछित अवशेष भी रह सकते हैं।
हमने जो तरीका खोजा है, वह है इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करना, एवं उनके साथ सोने से ढके रिफ्लेक्टरों का उपयोग करना। यह तरीका थोड़ा जटिल लग सकता है… लेकिन वास्तव में इसका उद्देश्य यह है कि ऊर्जा सीधे वेफर तक पहुँचे, न कि मशीन के अंदरूनी हिस्सों को गर्म करे।
सोने का उपयोग क्यों?
सामान्य क्वार्ट्ज लैंपों से ऊर्जा हर दिशा में फैल जाती है… ऐसी स्थिति में आपकी आधी ऊर्जा बेकार ही चली जाती है। लेकिन रिफ्लेक्टरों पर उच्च-शुद्धता वाली सोने की परत लगाने से, लगभग 98% इन्फ्रारेड ऊर्जा वापस वेफर तक पहुँच जाती है।
यह केवल बिजली की लागत कम करने का तरीका नहीं है… बल्कि ऊर्जा का उचित उपयोग करने का तरीका है। जब ऊर्जा प्रति वर्ग सेंटीमीटर पर एकत्र हो जाती है, तो वेफर जल्दी ही वांछित तापमान तक पहुँच जाता है… इससे प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं उत्पादन दर भी बढ़ जाती है। यह तो एक बेहतरीन समाधान है।
चुनौतियाँ
बेशक, बस ऊर्जा का उपयोग बढ़ाकर ही काम नहीं चलेगा। जब इतनी अधिक ऊर्जा का उपयोग किया जाता है, तो लैंप का ढाँचा क्षतिग्रस्त हो सकता है… अगर हवा का प्रवाह सही न हो, तो फिलामेंट जल्दी ही जल जाएँगे।
हम ऐसी व्यवस्था बनाने पर ध्यान देते हैं, जिससे ऊर्जा का उपयोग अधिकतम हो, एवं वेफर का क्षेत्रफल कम रहे… इससे वेफर के किनारों पर अत्यधिक गर्मी नहीं पड़ेगी, जबकि बीच का हिस्सा अभी भी गीला रहेगा।
सही संरेखण
एक और महत्वपूर्ण बात… सही संरेखण आवश्यक है। अगर लैंप का संरेखण कुछ मिलीमीटर भी गलत हो जाए, तो सोने से ढके रिफ्लेक्टर का केंद्र भी बदल जाएगा… ऐसी स्थिति में वेफर पर ठंडे क्षेत्र बन जाएँगे, एवं सब कुछ फिर से शुरू से ही हो जाएगा।
हम ठोस माउंटिंग ब्रैकेटों का उपयोग करने की सलाह देते हैं… ऐसे ब्रैकेट लैंप को मजबूती से जकड़े रखते हैं… भले ही सिस्टम में कंपन हो रहा हो। इससे पूरे सेंसर सतह पर ऊर्जा समान रूप से वितरित होती है।