फैब्रिकेशन लाइन पर, फोटोरेजिस्ट को सही तापमान पर सुखाना ऐसी प्रक्रिया है जिस पर कोई बहस ही नहीं होती। यहाँ महत्वपूर्ण बात तो तापमान को नियंत्रित रखना ही है। वेफर पर थोड़ा भी तापमान-परिवर्तन हो जाए, तो उसके महत्वपूर्ण आयाम बदलने लगते हैं… ऐसी स्थिति में घंटों का लाइथोग्राफी कार्य बर्बाद हो जाता है।
आईआर लैंप एवं उसका क्वार्ट्ज स्लीव, उस थर्मल लूप के ठीक बीच में ही स्थित होता है। यदि स्लीव तापमान को नियंत्रित न कर पाए, तो इसका नुकसान ही होगा।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने क्वार्ट्ज स्लीव को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वह छोटी-मध्यम तरंगदैर्घ्य वाली आईआर किरणों को ठीक उसी तरह ही प्रसारित करे, जैसे फोटोरेजिस्ट उन किरणों को अवशोषित करता है। वेफर के सतही तापमान में ±0.1°C का ही अंतर रहता है… यही वह स्तर है जो वेफर के आयामों को नियंत्रित करने हेतु आवश्यक है।
यह क्वार्ट्ज स्लीव, क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी कार्य कर सकता है… एवं थर्मल प्रक्रियाओं के दौरान भी इसकी सतह पर कणों की संख्या नियंत्रित ही रहती है। हमने इसे 24/7 कार्य हेतु ही डिज़ाइन किया है… एवं 5,000+ घंटों तक इसकी कार्यक्षमता की जाँच भी की गई है।
उत्पादन में यह क्यों कार्य करता है?
उत्पादन लाइन पर, यह स्लीव बिना किसी तापमान-संबंधी समस्या के ही नियमित रूप से कार्य करता है… इससे किनारों पर दोष पैदा होने की संभावना कम हो जाती है… एवं पूरे वेफर पर आयामों में एकरूपता बनी रहती है।
ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है… क्योंकि यह स्लीव आईआर किरणों को कुशलतापूर्वक ही प्रसारित करता है… इससे लैंप पर लगने वाली बिजली की मात्रा कम हो जाती है। यह, OEM क्वार्ट्ज घटकों का ही एक विकल्प है… एवं इसे बिना किसी विशेष प्रक्रिया के ही उपयोग में लाया जा सकता है।
जिन बातों को नज़रअंदाज़ नहीं किया जा सकता…
इसकी स्थापना हेतु सटीक मापदंडों का ही पालन करना आवश्यक है… अन्यथा तापमान-संबंधी समस्याएँ पैदा हो जाएँगी। बदलाव से पहले, लैंप के कनेक्टर एवं उसके आयामों की जाँच अवश्य करें।
इसे क्लीनरूम-अनुरूप उपकरणों एवं दस्तानों के साथ ही ही संभालना आवश्यक है… क्वार्ट्ज पर उंगलियों के निशान भी तापमान-संबंधी समस्याओं का कारण बन सकते हैं। इसे निर्धारित समय पर ही बदलना आवश्यक है… अन्यथा आप अपने उत्पादन-लाइन की कार्यक्षमता को जोखिम में डाल रहे हैं।