फैब मंजिल पर, फोटोरेसिस्ट बेक के दौरान 0.5°C का ड्रिफ्ट केवल एक CD शिफ्ट नहीं है। यह बहुत कुछ दांव पर है। वेफर उपकरण 7×24 चलते हैं, और तापीय अस्थिरता तेजी से बढ़ती है, तापीय बजट को खाती है और फिर से काम करने के लिए मजबूर करती है। आपको एक तापमान सेंसर की आवश्यकता है जहां पुनरावृत्ति एक विशिष्टता है, न कि बातचीत का विषय।
तकनीकी रूप से क्या मायने रखता है
हमने इस सेंसर को वेफर उपकरणों के लिए ±0.1°C के वेफर-स्तरीय तापीय समानता के चारों ओर बनाया है, ताकि हर सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक समान तापीय प्रोफ़ाइल को प्राप्त कर सके, बैच दर बैच। यह क्लीनरूम श्रेणियों 1–100 में फिट बैठता है और बिल्कुल भी कण नहीं उत्पन्न करता है, इसलिए आप प्रदूषण से उपज हिट का पीछा नहीं करते हैं। यह बिना किसी अप्रत्याशित डाउनटाइम के लगातार चलता है, और सेवा जीवन इतना लंबा है कि प्रतिस्थापन पूर्वानुमानित रहते हैं। इसका लाभ एक स्थिर प्रक्रिया विंडो और लिथोग्राफी प्रदर्शन है जिस पर आप भरोसा कर सकते हैं।
प्रायोगिक रूप से क्यों काम करता है
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में, बेक तापमान ही सॉल्वेंट को हटाने और पॉलिमर क्रॉस-लिंकिंग को नियंत्रित करता है। कड़ी नियंत्रण आपको एक तंग CD वितरण और कम उतार-चढ़ाव देता है। इस सेंसर के साथ, नुस्खा योग्यता तेजी से चलती है, पोस्ट-मेंटेनेंस फिर से योग्यता कम होती है, और तापीय व्यवहार उपकरणों में लगातार रहता है। ऊर्जा उपयोग गिरता है क्योंकि नियंत्रण लूप ड्रिफ्ट का शिकार नहीं कर रहा है, और रखरखाव कार्यक्रम पर रहता है बजाय इसके कि प्रतिक्रियात्मक हो जाए।
आपको किस चीज़ की योजना बनाने की आवश्यकता है
स्थापना सहिष्णुता तंग हैं: सेंसर को निर्दिष्ट तापीय द्रव्यमान के साथ संरेखित करें और ±0.1°C समानता को प्राप्त करने के लिए स्थिति में रखें। पूर्ण उपकरण एकीकरण के लिए समय बुक करें—आमतौर पर एक संक्षिप्त योग्यता रन—नियंत्रण सीमाओं को लॉक करने और क्लीनरूम कण प्रदर्शन को सत्यापित करने के लिए। एक बार कैलिब्रेट होने के बाद, इसे चालू रखें। रोकना और फिर से शुरू करना अस्थायी व्यवहार को पेश करता है जो वास्तविक प्रक्रिया ड्रिफ्ट को मास्क कर सकता है।