फैब फ्लोर पर, थर्मल बजट कोई सुझाव नहीं है… बल्कि यह वह सीमा है जिसे हमें अवश्य ही बनाए रखना होता है। फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया के दौरान कुछ डिग्री की त्रुटि हो जाने से, एटचिंग के बाद उत्पादों के आकार में भी बदलाव हो जाता है… इससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। इसलिए हमने सेमीकंडक्टर हीटरों के लिए थर्मोकपल बनाए, ताकि प्रत्येक चरण में तापमान नियंत्रित रह सके।
तकनीकी दृष्टि से, महत्वपूर्ण बात यह है कि थर्मोकपल हीटर की आकृति के अनुरूप हो… ऐसा थर्मोकपल ही वाहक पर तापमान को ±0.1°C के भीतर नियंत्रित रख सकता है। सेंसर को क्लीनरूम क्लास 1–100 में ही पैक किया जाता है… ताकि गैसों एवं कणों का उत्पादन कम हो सके।
कैलिब्रेशन प्रक्रिया में ही दोहराव सुनिश्चित किया जाता है… हर बार एक ही तापमान प्राप्त होता है। रिस्पॉन्स टाइम ऐसा होता है कि लिथोग्राफी प्रक्रिया के दौरान तापमान स्थिर रहे।
लिथोग्राफी में, “सॉफ्ट बेक” से विलायक निकल जाता है, जबकि “हार्ड बेक” से फिल्म तैयार हो जाती है… ताकि वह एटचिंग प्रक्रिया को सह सके। इस थर्मोकपल की मदद से, वाहक की सतह पर तापमान नियंत्रित रहता है… जिससे CD एवं लाइन-एज रफनेस भी नियंत्रित रहता है।
इससे रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है… एटचिंग प्रक्रिया भी अधिक प्रभावी हो जाती है… ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि नियंत्रण प्रणाली अतिरिक्त/कम तापमान को रोक देती है।
कुछ व्यावहारिक बातें… इंस्टॉलेशन के दौरान हीटर एवं वाहक की सतह के संबंध में सटीक स्थिति आवश्यक है… अगर थोड़ी भी त्रुटि हो जाए, तो तापमान में बदलाव हो जाता है। कनेक्टर इंटरफेस एवं ग्राउंडिंग प्रणाली को उपकरणों के अनुरूप ही रखना आवश्यक है… ताकि EMI से होने वाली गड़बड़ियाँ न हों।
कैलिब्रेशन प्रक्रिया की योजना भी आवश्यक है… हालाँकि तापमान में थोड़ा ही बदलाव होता है, लेकिन हजारों चक्रों के बाद यह मापा जा सकता है… नियमित जाँच से प्रक्रिया थर्मल बजट के भीतर ही रहती है।