Berhentilah membuang-buang waktu: Mengapa pemanasan menggunakan sinar inframerah jauh lebih efektif
Jika Anda pernah terlibat dalam proses pengolahan semikonduktor, Anda pasti tahu betapa menyebalkannya menunggu saat benda-benda tersebut panas atau dingin. Untuk waktu yang lama, kita mengandalkan udara untuk mendinginkan atau memanaskan benda-benda tersebut. Namun, penggunaan pemanas inframerah yang cocok untuk lingkungan vakum benar-benar mengubah cara kerja proses produksi ini.
Intinya adalah bagaimana panas sampai ke wafer. Proses konveksi udara sama saja dengan mencoba memanaskan suatu ruangan menggunakan kipas angin; prosesnya sangat lambat karena udara perlu membawa energi tersebut. Di lingkungan vakum yang tinggi, udara tidak ada. Jadi, energi tidak bisa dipindahkan. Pemanas inframerah menghindari proses ini; energi disalurkan langsung ke targetnya.
Prosesnya instan.
Masalah “keterlambatan pemanasan” yang selalu kita alami dengan sistem berbasis udara? Hilang. Anda tidak perlu memanaskan udara terlebih dahulu, lalu dinding-dinding ruangan, baru kemudian substratnya. Dengan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek, energi langsung sampai ke targetnya. Dengan demikian, waktu yang dibutuhkan untuk proses pemanasan dan pendinginan dapat dikurangi sebesar 60% hingga 80%. Jika pabrik Anda beroperasi 24/7, maka penjimatan waktu ini akan berarti lebih banyak wafer yang dapat diproses setiap jamnya.
Namun, Anda tidak bisa begitu saja menggunakan lampu biasa di lingkungan vakum. Kita menggunakan membran kuarsa khusus dan bahan penyegel agar tidak terjadi kebocoran zat kimia ke dalam vakum. Jika pemanas bocor, silikon akan terkontaminasi, dan integritas vakum pun rusak. Itu merupakan masalah besar. Itulah mengapa kita membuat pemanas inframerah yang kompak namun kuat, sehingga energi dapat disalurkan tepat ke tempat yang dibutuhkan, tanpa membuat seluruh wadah vakum menjadi “oven”.
Sejujurnya, pemanasan menggunakan sinar inframerah bukanlah solusi ajaib. Masih ada beberapa kendala yang perlu diatasi. Karena proses transfer panasnya sangat cepat, mudah sekali melebihi suhu target yang diinginkan. Jika kontrol suhu tidak dilakukan dengan baik, suhu akan melebihi batas yang ditentukan. Selain itu, ada juga masalah refleksi cahaya. Jika dinding ruangan tidak siap menerima radiasi tersebut, maka peralatan mahal Anda akan ikut panas, bukan bagian yang seharusnya dipanaskan.
Cara kami untuk mengatasinya? Menggunakan pelindung berlapis emas. Pelindung ini membantu fokuskan energi tepat ke wafer, mengurangi pemborosan energi, dan mencegah sistem pendinginan bekerja berlebihan.