Smettete di permettere alle luci di riscaldamento di rovinare i vostri wafer
Se avete una sala pulita di classe 100, conoscete bene questo problema. Un singolo granello di polvere – qualcosa che non si può nemmeno vedere – può rendere inutilizzabili tutti i wafer presenti. È davvero frustrante.
Il problema è che le lampade a infrarossi standard sono spesso la causa di questi problemi: emettono particelle microscopiche dal proprio rivestimento, agendo come delle vere e proprie “fabbriche di polvere” proprio lì dove meno se ne può avere bisogno.
Abbiamo risolto questo problema utilizzando elementi riscaldanti in quarzo fuso ad alta purezza.
Perché il quarzo è così importante
La maggior parte dei materiali in vetro presenta impurità metalliche. Noi utilizziamo quarzo fuso sintetico, poiché elimina completamente queste impurità. Inoltre, il quarzo non solo trasferisce calore, ma previene anche quella fastidiosa emissione di particelle che avviene con i tubi meno costosi. La superficie del quarzo viene trattata in modo da rimanere chimicamente inerte; in questo modo, quando la lampada raggiunge la temperatura massima, nulla viene rilasciato nell’ambiente circostante. Il tutto rimane quindi pulito.
Ottenere la temperatura giusta
Qui la precisione è fondamentale. È necessario trovare un equilibrio perfetto tra potenza e superficie di contatto. Abbiamo regolato queste lampade in modo che emettano un fascio di luce a onde corte. L’energia penetra rapidamente nella superficie del wafer, senza però danneggiare gli elementi circostanti. Si ottiene così un riscaldamento rapido e uniforme su tutta la superficie del wafer. Questo è l’obiettivo.
Attenzione: utilizzateli con cura
Il quarzo ad alta purezza è estremamente sensibile dal punto di vista chimico, ma fisicamente è piuttosto delicato. Non può resistere agli stessi stress meccanici del vetro temprato. Se i supporti di montaggio sono troppo stretti o se i sistemi di ammortizzazione delle vibrazioni non funzionano correttamente, potrebbero verificarsi delle crepe nel quarzo. Assicuratevi quindi che il contenitore in cui si trova la lampada lasci sufficiente spazio affinché essa possa espandersi durante il riscaldamento.
Integrarle nel vostro flusso di lavoro
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere installate facilmente. Nessuno vuole interruzioni prolungate per manutenzioni. Le dimensioni ridotte e i collegamenti sicuri garantiscono che non vi siano contaminanti introdotti nell’ sistema durante lo scambio dei componenti. Un ultimo consiglio: assicuratevi che il sistema di purga con vuoto o gas inerte funzioni correttamente insieme alla lampada. Altrimenti, potrebbero accumularsi residui sul quarzo, compromettendo così l’efficacia della lampada stessa.