製造現場では、ソフトベイクの際にわずか0.5度程度のずれがあっても、ウェーハの線幅が目標値から外れてしまい、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。そうした問題を解決するために、私たちはセラミック式の赤外線ヒーターパネルを開発しました。これにより、加熱の特性はレシピ通りになり、ホットプレートの状態に左右されることがありません。
技術的に重要な点 私たちがセラミック式の赤外線エミッターを使用するのは、応答速度が速く、必要な場所だけを正確に加熱できるからです。また、対象領域全体で数ミリメートル未満の均一性が保たれます。このパネルにより、ウェーハ面の温度は±0.1℃以内に抑えられ、クローズドループ制御と固定されたエミッターの形状によって再現性が確保されます。 設定値の変更も10秒以内に行えるため、バキング工程間の切り替えがスムーズに行え、熱管理が効果的に行われ、パターンの品質が維持されます。また、この構造はクリーンルームでの使用に適しており、ガス放出が少なく、運転中に粒子が発生しないため、クラス1～100の粒子濃度基準を満たします。
なぜ実際の製造工程に適しているのか このパネルは、リソグラフィーやフォトレジスト処理で問題となる、再現性があり、均一でクリーンなソフトベイクやハードベイクにおいても有効です。数ミリメートル未満の均一性により、端の欠陥が減少し、CDの管理が容易になり、廃棄されるウェーハの量も減ります。 迅速な応答によりサイクルタイムが短縮され、安定した出力により再加工が減ります。また、必要な部分だけを加熱するため、エネルギーの無駄がなくなります。パッケージングやウェーハの乾燥においても、同じ精度により接着性が向上し、乾燥がより均一に行われるため、繰り返し作業が減り、生産性が向上します。
注意すべき点 このパネルは既存のホットプレートやバキングモジュールに直接取り付けられますが、ウェーハ面との位置合わせが非常に重要です。固定具の許容誤差は0.1mm以内でなければならず、そうでないと均一性に問題が生じます。 また、動作電圧や冷却条件を指定範囲内に保ち、供給される電力が清潔で乾燥していることが重要です。そうすれば、長期的な安定性が保たれます。湿度が高い場合でも、応答時間に影響を与えずに保護用の窓を追加することができます。 5,000時間以上の使用寿命が期待でき、出力の低下は5％未満です。メンテナンスは予測可能な間隔で行い、緊急停止を避けるべきです。