なぜ私たちは赤外線硬化方式に切り替えているのか？
単にコーヒーを温めるためだけに部屋全体を温めようとしたことはありませんか？これは、従来の対流式オーブンが半導体工場で行っている仕組みです。空気を温めてから、その空気がウェーハを温めます。しかし、これは効率が悪く、エネルギーの無駄遣いにもなります。
私たちのUHP（超純度）ランプは、全く異なる方法で機能します。短波長の赤外線を使って、エネルギーを直接材料に送り込みます。中間媒体は不要で、空気が温まるのを待つ必要もありません。これは、硬化処理の仕方を根本的に変えるものであり、だからこそ多くの工場が従来の巨大な加熱装置を廃止しているのです。
プロセスの簡素化
長年にわたり、物を乾燥させたり硬化させたりするには、有害な化学溶剤や重金属触媒を使わざるを得ませんでした。確かに効果はありましたが、有害なガスが発生し、それを呼吸するのは望ましくありません。
私たちのランプは、必要な瞬間に正確な温度に到達するように設計されています。熱が精密に制御されているため、基板が焼けてしまう心配もありません。つまり、危険な安定剤を使う必要がなくなります。VOCや鉛も含まれず、環境面でも問題のないクリーンなプロセスです。
パワーと性能
最良な点は、赤外線硬化方式は需要に応じて動作するということです。スイッチを入れるだけで、数ミリ秒で最大出力になります。対して、対流式オーブンでは何時間もかけて暖める必要があります。つまり、製品だけを温めることができるので、エネルギーコストも適切に抑えられます。
品質を維持するために、高純度の石英製のケースを使用しています。これにより、金属イオンが漏れ出してウェーハを損傷することがありません。ただし、このランプは非常に強力なので、変圧器がその急激な電力に耐えられるか確認してください。生産量を増やすたびにブレーカーが切れてしまうのは避けたいものです。
「簡単」な点
週末を使って装置を修理するのは誰も好みません。そのため、私たちは簡単に交換できるように設計しました。許容範囲を狭く設定することで、壊れたランプをすぐに交換し、すぐに作業を再開できます。
また、熱が放射されるため、機械の他の部分は比較的涼しく保たれます。シール部品が劣化したり、配線がもろくなったりすることもなく、装置の寿命も延びます。面倒な分解作業に費やす時間が減り、実際にウェーハを出荷する時間が増えます。