진공 챔버의 온도를 정확하게 조절하는 방법 현대적인 팹을 구축할 때, 열에너지가 상당한 문제가 될 수 있다는 것을 알게 될 것입니다. 진공 챔버 안의 공기를 빼내면 대류 현상은 사라집니다. 그러면 오직 복사열만이 작용하여 온도를 조절할 수 있습니다. 이때 바로 적외선...

시간 낭비를 그만하세요: 왜 진공 적외선 가열이 훨씬 효과적인지 반도체 처리에 관련된 일을 해본 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 항상 기다리는 시간이 많습니다. 물체가 따뜻해지기를 기다리고, 다시 식을 때까지 기다려야 합니다. 오랫동안 우리는 강제 공기 순환을 이용해...