Lampu yang berhenti berfungsi pada pukul 03:00 akan menyebabkan proses penghasilan semikonduktor terhenti serta-merta. Wafer-wafer akan bertimbun, dan kualiti produk akan menurun. Kita mencipta lampu semikonduktor untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku.
Apa yang benar-benar penting pada alat ini
Lampu halogen dan inframerah gelombang pendek yang digunakan memastikan suhu di permukaan wafer kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C, supaya proses pembakaran wafer dapat berjalan dengan lancar. Lampu-lampu ini beroperasi dengan baik dalam suasana kelas 1–100, tidak menghasilkan sebarang zarah berbahaya, dan mampu bertahan selama 5,000 jam atau lebih. Dengan adanya lampu-lampu ini, proses penghasilan semikonduktor menjadi lebih tepat, dengan kawalan spektral yang baik, tanpa gangguan operasi sepanjang masa 24/7. Hasilnya, suhu yang dihasilkan tetap stabil, dan dimensi produk juga tetap konsisten.
Dalam proses litografi, kestabilan suhu sangat penting agar tidak mengganggu kelajuan pengeluaran produk. Lampu-lampu ini memastikan suhu tetap stabil dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain. Ketepatan ini membantu mengurangkan sisa bahan yang terbuang, mengurangkan kerja-kerja pembaikan, dan memendekkan masa yang diperlukan untuk proses pengujian. Kecekapan lampu-lampu ini meningkat disebabkan oleh penggunaan reflektor berkualiti tinggi serta penyesuaian spektral yang tepat. Jangka hayat lampu yang panjang juga bermakna kurangnya keperluan untuk mengganti lampu tersebut, serta mengurangkan stok pelengkap yang diperlukan.
Perkara penting semasa pemasangan
Lampu-lampu ini memerlukan soket yang sesuai serta sistem penyejukan yang efektif untuk memastikan kestabilan suhu. Perlu ada waktu pemasangan yang tepat agar geometri antara lampu dan permukaan wafer dapat diselaraskan dengan betul. Setelah geometri tersebut diselaraskan, proses pengeluaran akan tetap stabil. Namun, penyelarasan awal ini sangat penting jika anda ingin mendapatkan kestabilan suhu yang maksimum.