Cara Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Mengeringkan wafer sensor MEMS memerlukan keseimbangan yang tepat. Anda perlu menghilangkan air dari wafer tersebut dengan cepat, tetapi jika cara yang digunakan terlalu agresif, ia boleh menyebabkan tekanan haba atau sisa-sisa yang tidak diingini.
Cara yang telah kami temukan ialah dengan menggunakan pemanas inframerah bersama-sama dengan reflektor yang dilapisi emas. Walaupun kedengaran rumit, sebenarnya cara ini bertujuan untuk memastikan haba sampai ke wafer tersebut, bukannya memanaskan bahagian dalam mesin itu sendiri.
Mengapa emas?
Bayangkan lampu kuarsa biasa – ia memancarkan haba ke semua arah. Dalam situasi seperti ini, separuh daripada tenaga yang digunakan akan terbuang sia-sia. Dengan menambah lapisan emas pada reflektor, kita dapat memantulkan kira-kira 98% daripada cahaya inframerah tersebut kembali ke tempat yang sepatutnya.
Ini bukan hanya untuk mengurangkan bil elektrik, tetapi juga untuk meningkatkan kecekapan penggunaan tenaga. Dengan memberi tumpuan kepada kawasan pemanasan yang efektif, suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat. Masa proses pengeringan pun berkurangan, dan kelajuan pengeluaran meningkat. Ini merupakan penyelesaian yang ideal.
Bahagian yang sukar
Sudah tentu, anda tidak boleh sekadar meningkatkan kuasa pemanasan begitu sahaja. Apabila haba yang dihasilkan sangat tinggi, komponen lampu akan rosak lebih cepat. Jika aliran udara tidak dikawal dengan baik, filamen lampu akan terbakar lebih awal daripada yang sepatutnya.
Kita perlu memastikan bahawa permukaan pemanasan tetap kecil, sambil tetap memastikan kawasan pemanasan tersebut efektif. Tujuannya adalah untuk mencapai suhu yang seragam di seluruh permukaan wafer. Anda tidak mahu bahagian tepi wafer menjadi panas, sementara bahagian tengahnya masih basah.
Penyesuaian yang tepat
Satu perkara lagi yang penting: penyesuaian yang tepat sangat penting. Jika kedudukan lampu sedikit salah, titik fokus reflektor emas juga akan berubah. Akibatnya, akan ada kawasan di wafer yang menjadi sejuk, dan proses pengeringan akan terhenti semula.
Kami cadangkan menggunakan bracket pemasangan yang kukuh. Ia dapat memastikan lampu tetap berada di posisi yang tepat, walaupun sistem tersebut bergetar. Dengan cara ini, haba dapat disalurkan secara merata ke seluruh permukaan sensor setiap kali.