Het stoppen van de chaos: omgaan met kapotte lampen bij het drogen van waferbenodigdheden
Laten we eerlijk zijn: wanneer een lamp in een systeem met hoge belasting kapotgaat, is dat een nachtmerrie. Het gaat niet alleen om de stilstand van het apparaat of om de storende alarmsignalen. Het gaat ook om de chaos die hierdoor ontstaat.
Wanneer een kwartstub barst, vallen er glasscherven en halogeengas op de waferbenodigdheden terecht. Dat leidt tot vervuiling. Daarom hebben we onze reflectoren zo ontworpen dat ze dienen als fysieke bescherming.
Hoe de reflectoren werken
De meeste mensen denken dat reflectoren alleen dienen om infraroodstraling terug te kaatsen naar het substraat. Dat klopt inderdaad. Maar wij hebben onze reflectoren zo ontworpen dat ze ook schade kunnen voorkomen.
We gebruiken een parabolische vorm met een goede afsluiting rondom. Stel je voor dat het een soort collectiebekken is. Als een buis onder thermische druk breekt, blijven de scherven binnenin het apparaat zitten. Ze gaan niet de droogkamer in, zodat de waferbenodigdheden schoon blijven.
De materialen (en de nadelen)
We gebruiken hoogzuiver aluminium en een speciaal reflecterend laagje om optimaal gebruik te maken van de kortegolfrange infraroodstraling. Het doel is om de gewenste hittedichtheid te bereiken, zonder de lamp te veel te belasten.
Als je de lamp te veel belast, zal deze waarschijnlijk kapotgaan. Maar je moet ook letten op de luchtcirculatie. Als het apparaat te heet wordt, kan het reflecterende laagje beschadigen, waardoor de prestaties verslechteren. Het gaat erom balans te vinden.
Het simpel houden
We haten net zoals jij moeilijke onderhoudswerkzaamheden. Daarom hebben we deze apparaten zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Je kunt de lamp en de reflector samen als één geheel uit het apparaat halen. Dat is snel gedaan. Bovendien voorkomt dit dat er per ongeluk stofdeeltjes in het systeem terechtkomen.
Een laatste tip: controleer elke 500 uur of de reflectoren nog goed zijn uitgericht. Dit voorkomt ongemakkelijke warmtepunten die extra druk op de kwartstub uitoefenen.