Como secar os wafers da maneira certa: por que o ouro é importante
Secar os wafers é como andar em uma corda bamba. É preciso que a água desapareça rapidamente, mas não se pode deixar nenhum resíduo de água ou poeira para trás. É um processo delicado e de alto risco.
Na maioria das vezes, usamos refletores revestidos de ouro para garantir que a energia infravermelha dos aquecedores atinja realmente o wafer. Sem eles, muito do calor acaba se perdendo nas paredes da câmara. Isso significa perda de energia.
Por que o ouro?
Pense nos refletores de alumínio convencionais. Eles são bons, mas absorvem muita energia. O ouro é diferente: ele é excepcionalmente eficaz em devolver os raios infravermelhos para onde devem ir.
Quando criamos um refletor de ouro, estamos, na verdade, concentrando os raios dispersos em um feixe concentrado. Assim, mais calor é direcionado ao wafer, sem que seja necessário aumentar a potência elétrica utilizada. É uma forma mais eficiente de focar o calor.
O “problema oculto”
Já vi isso muitas vezes durante auditorias de energia. Há linhas de secagem onde as lâmpadas estão funcionando ao máximo, mas a temperatura do wafer ainda não atinge o nível desejado.
A maioria das pessoas acha que as lâmpadas não são suficientemente potentes. Mas, na verdade, as lâmpadas estão funcionando bem – o problema é que o calor se perde. Trocar as lâmpadas por modelos revestidos de ouro resolve esse problema. Assim, você obtém mais calor “útil” por cada watt gasto.
As desvantagens
O ouro não é mágico. Na verdade, é bastante sensível. Se você usar gases corrosivos ou produtos químicos agressivos para limpar os equipamentos, o revestimento de ouro pode se descascar ou oxidar. Isso reduz a capacidade de reflexão do material. É preciso ter cuidado com a espessura do revestimento e, principalmente, ser cuidadoso ao trocar as lâmpadas. Um arranhão pode estragar todo o sistema.
Vale a pena?
Se você tem uma linha de produção de grande volume, com certeza sim. Um aumento de 5% na eficiência térmica pode parecer pouco, mas isso resulta em grandes economias de energia e tempos de ciclo mais rápidos. Além disso, se seu sistema de refrigeração já está sob pressão, isso ajuda muito. Como menos calor é dissipado no chassi do equipamento, o sistema de refrigeração não precisa trabalhar tanto. Todos saem ganhando.