Na linha de produção, as folhas de silício são afinadas até 50 µm de espessura. Porém, a qualidade do produto diminui devido à falta de uniformidade no processo de secagem. Os perfis do material fotolítico também sofrem alterações quando o processo de secagem não é uniforme. Além disso, os materiais utilizados para envolver as folhas de silício podem se dividir devido aos picos de temperatura durante o processo de cura. Por isso, desenvolvemos aquecedores infravermelhos para eliminar essa incerteza térmica.
O que é importante, do ponto de vista técnico
Utilizamos emissores infravermelhos de onda curta, com resposta térmica rápida e direta. Assim, conseguimos atingir a temperatura desejada em segundos, sem excedê-la. A uniformidade nas diferentes áreas da folha de silício permanece dentro de ±0,1°C. A repetibilidade entre diferentes lotes também é alta, pois os emissores envelhecem de maneira previsível. O sistema funciona bem em salas limpas de classe 1–100. Além disso, reduzimos a geração de partículas graças a janelas de quartzo seladas e a um sistema de dissipação de calor eficiente. A densidade de energia é ajustada de acordo com a espessura da folha de silício: há calor suficiente para eliminar rapidamente os solventes, mas nem tanto a ponto de causar danos à superfície da folha de silício.
Por que funciona onde trabalhamos
No processo de secagem das folhas de silício, os raios infravermelhos atingem diretamente a camada de água presente na superfície da folha. Isso acelera o processo e reduz o consumo de energia. No processamento do material fotolítico, os raios infravermelhos mantêm as temperaturas ideais para garantir uma qualidade consistente. Na fase de embalagem, eles permitem um controle preciso das temperaturas necessárias para a encapsulação e preenchimento dos espaços vazios entre as folhas de silício – sem choques térmicos. O resultado é menos necessidade de reprocessamento, menor número de defeitos e maior eficiência na produção. Além disso, o consumo de energia diminui, já que os aquecedores ficam menos tempo em modo de funcionamento intermitente.
O que você precisa saber antes de começar
Os raios infravermelhos exigem uma visão direta, portanto, a posição dos emissores deve ser compatível com a geometria do suporte da folha de silício. É preciso manter superfícies refletivas e superfícies de quartzo limpas; caso contrário, haverá pontos quentes nas bordas da folha de silício. É necessário também ter um sistema de alimentação de energia dedicado e um bom sistema de controle térmico, para manter as paredes da câmara frias. Uma vez que tudo estiver alinhado, o processo pode ser realizado com precisão – mas as tolerâncias de ajuste são pequenas.