Лампа, которая перестает работать в 03:00, мгновенно прерывает процесс производства. Пластины скапливаются друг на друга, параметры процесса изменяются, что снижает качество продукции. Мы создаем специальные полупроводниковые лампы, чтобы предотвратить это.
Что действительно важно в таких устройствах
Наши галогенные и инфракрасные лампы обеспечивают тепловую однородность на уровне пластин с точностью до ±0,1°C. Благодаря этому параметры процесса остаются стабильными. Эти лампы работают в условиях класса чистоты 1–100, не выделяют никаких частиц и сохраняют стабильную мощность в течение более 5,000 часов. Это позволяет обеспечить точное контрлирование параметров процесса и избежать неожиданных простоев в режиме 7×24 часа. Результатом является предсказуемое тепловое состояние и стабильный контроль критических размеров.
В литографических установках необходима тепловая стабильность, которая не снижала бы скорость производства. Эти лампы сохраняют заданные параметры с каждой партией продукции, поэтому параметры процесса не меняются со временем. Такая стабильность сокращает количество бракованных изделий, уменьшает необходимость повторной обработки и сокращает время на настройку оборудования. Эффективность улучшается благодаря высокоэффективным отражателям и правильной настройке спектра света. Долгий срок службы ламп также сокращает количество замен и необходимости хранения запасных частей.
При установке этих ламп необходимо использовать соответствующие патроны и системы охлаждения для поддержания стабильности температуры. Необходимо тщательно спланировать процедуру настройки, чтобы геометрия расположения лампы относительно пластины соответствовала параметрам тепловой системы оборудования. Как только геометрия будет установлена, процесс будет стабильным. Но первоначальная настройка является обязательной, если вы хотите добиться максимальной степени однородности.