Как высушить пластины с МЭМС-датчиками без лишних проблем
Высушивание пластин с МЭМС-датчиками – это процесс, требующий тонкого балансирования. Необходимо как можно быстрее устранить воду с поверхности пластин, но если действовать слишком агрессивно, возможны тепловые стрессы или образование нежелательных остатков.
Мы нашли решение: используем инфракрасные нагреватели в сочетании с отражателями, покрытыми золотом. Это звучит сложно, но на самом деле речь идет о том, чтобы тепло попадало именно на поверхность пластины, а не нагревало внутреннюю часть оборудования.
Почему именно золото?
Если подумать о стандартной кварцевой лампе, она излучает тепло во все стороны. В такой ситуации половина энергии тратится впустую. Если же на отражатель нанести слой чистого золота, можно направить около 98% инфракрасного света обратно туда, где он нужен.
Это не только помогает сократить расходы на электроэнергию, но и повышает эффективность нагрева. Когда тепло концентрируется на определенной площади, достичь нужной температуры происходит гораздо быстрее. Сокращается время обработки, а производительность повышается. Это является взаимовыгодным решением.
Сложности
Конечно, нельзя просто увеличить мощность нагревателя и забыть об этом. При такой интенсивной работе корпус лампы сильно перегревается. Если поток воздуха не регулируется должным образом, филаменты лампы сгорают гораздо раньше времени.
Мы стараемся минимизировать размеры оборудования, при этом сохраняя максимальную эффективность нагрева. Цель – создать равномерное тепловое поле по всей поверхности пластины. Нельзя допустить, чтобы края пластины перегревались, в то время как центр оставался влажным.
Правильная настройка
Еще один важный момент – правильная настройка. Если лампа смещена хотя бы на пару миллиметров, фокус отражателя меняется. В результате на поверхности пластины появляются зоны с недостаточным нагревом, и все начинается сначала.
Мы рекомендуем использовать жесткие крепления для лампы. Они обеспечивают надежное закрепление лампы, даже если система вибрирует. Таким образом можно сохранять равномерное тепловое поле по всей поверхности датчика.