Как сохранить чистоту в помещении класса 100
Когда вы работаете в условиях помещения класса 100, последнее, что вам нужно, — это чтобы нагревательные элементы распространяли частицы по всему рабочему пространству. Это настоящий кошмар. Большинство стандартных резистивных нагревателей начинают отслаиваться или выделять газы при нагревании и охлаждении.
Поэтому мы использовали высокочистый синтетический кварц для инфракрасных ламп в наших системах для обработки полупроводников. Это гораздо эффективнее.
Почему именно кварц?
По сути, кварц не разрушается при высоких температурах. Он не выделяет металлические примеси. В отличие от нагревателей с металлической оболочкой, кварц остается химически инертным. Он не реагирует ни с воздухом, ни с пластинами, которые вы обрабатываете.
К тому же инфракрасное излучение достигает цели напрямую. Нет никаких посредников, что значит, что нет ничего, что могло бы пронести загрязнения в процесс обработки.
Установка ламп
Мы спроектировали эти лампы так, чтобы они не мешали работе. Они подходят для установки в каркасы тележек, что обеспечивает равномерное нагревание всей поверхности.
Благодаря использованию коротковолнового инфракрасного излучения процесс нагрева происходит очень быстро. Это большое преимущество, потому что сокращается время, в течение которого продукт находится в контакте с воздухом.
Мы также используем специальные разъемы для надежной фиксации ламп. Это предотвращает проникновение пыли и частиц внутрь лампы.
Недостатки
Есть один недостаток: высокочистый кварц крайне хрупок. Он может выдержать перепады температур, но если его случайно повредить в процессе технического обслуживания, он разобьется. Необходимо тщательно подобрать крепления для лампы, чтобы не создавалось никакого механического давления на кварцовую трубку.
Кроме того, эти лампы выделяют много тепла. Необходимо использовать надежный радиатор для охлаждения тележки. В противном случае сенсоры чистой комнаты могут сработать из-за слишком высокой температуры воздуха.
Еще один совет: если вы заменяете эти лампы в уже имеющейся установке, обязательно проверьте напряжение питания. Если оно не соответствует требованиям, нить нагревателя может сгореть сразу после включения лампы.