บนชั้น lithography คุณทราบดีว่าการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.5°C ในระหว่างการอบ photoresist สามารถทำให้การควบคุมขนาดสำคัญ (CD) ออกนอกข้อกำหนดได้อย่างรวดเร็ว หลอดฮีตเตอร์ lithography ของ Canon ถูกออกแบบมาเพื่อรักษาพฤติกรรมทางความร้อนให้อยู่ในหน้าต่างกระบวนการอย่างต่อเนื่องในแต่ละกะงาน
สิ่งที่สำคัญภายใต้ฝาครอบ
หลอดนี้ใช้ตัวปล่อยอินฟราเรด (IR) ช่วงสั้นแบบฮาโลเจนในสารห่อหุ้มควอตซ์ จึงให้ความร้อนรังสีโดยตรงอย่างรวดเร็วพร้อมกับความเฉื่อยทางความร้อนต่ำ ภายในโซนอบ ความสม่ำเสมอระดับ wafer อยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำอุณหภูมิก็อยู่ในช่วง ±0.2°C จากล็อตหนึ่งถึงอีกล็อตหนึ่ง การออกแบบนี้รองรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และวัสดุรวมถึงขั้วต่อถูกเลือกมาเพื่อลดการเกิดอนุภาคและการระเหยก๊าซให้น้อยที่สุด ความเสถียรของกำลังไฟถูกกำหนดให้อยู่ภายใน ±2% ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง ซึ่งช่วยให้สามารถดำเนินงานระยะยาวโดยไม่ต้องปรับเทียบใหม่บ่อยครั้ง
นี่คือเหตุผลที่สิ่งนี้มีความสำคัญในการประมวลผล photoresist การอบแบบ soft bake หลังจากการ spin และ hard bake ก่อนการแกะสลักหรือการพัฒนา—ความแม่นยำของอุณหภูมิตั้งค่าการกำจัดตัวทำละลาย ความเครียดของฟิล์ม และความคลาดเคลื่อนของ CD การควบคุมความร้อนที่เข้มงวดกว่าทำให้มีการแก้ไขงานซ้ำลดลง ของเสียลดลง และการวางตำแหน่งซ้อนทับมีความแม่นยำมากขึ้น
โปรไฟล์ IR ที่ตอบสนองรวดเร็วช่วยลดเวลาการอุ่นเครื่องและเย็นลง ซึ่งเพิ่มประสิทธิภาพการใช้งานเครื่องจักร การใช้พลังงานถูกปรับโดยการจับคู่สเปกตรัมการออกกับงบประมาณความร้อนของ photoresist จึงไม่ปล่อยความร้อนเสียที่ส่งผลกระทบต่อ chuck และโมดูลรอบข้าง และความน่าเชื่อถือถูกออกแบบมาเพื่อใช้งานตลอด 24/7 ทำให้เกิดปัญหาน้อยลงและลดภาระการบำรุงรักษา
ข้อเท็จจริงบางประการในพื้นที่ปฏิบัติงาน
การติดตั้งต้องปฏิบัติตามข้อกำหนดของขั้วต่อ OEM และการจัดแนวอย่างเคร่งครัด—ขั้วต่อที่ไม่ตรงกันอาจสร้างจุดร้อนและลดอายุหลอดได้ หลอดนี้ถูกปรับแต่งสำหรับแพลตฟอร์ม lithography ของ Canon และต้องใช้ตัวสะท้อนที่จับคู่กันพร้อมกับการจัดการความร้อนที่เหมาะสมเพื่อรักษาความสม่ำเสมอ ±0.1°C
ก่อนเปลี่ยนหลอด ต้องตรวจสอบเรขาคณิตของห้องอบและความอดทนของแหล่งจ่ายไฟ จากนั้นรักษาความถูกต้องของกระบวนการด้วยการกำหนดเวลาตรวจสอบความเข้มของอินฟราเรดอย่างสม่ำเสมอ—การรักษาให้อยู่ภายใต้แผนควบคุมเป็นวิธีเดียวที่จะรักษาประสิทธิภาพให้สม่ำเสมอ