บนพื้นโรงงาน หลอดไฟในเครื่อง RTP ตัวเดียวที่เสียไม่ได้แค่ทำให้ห้องทำงานหยุดชะงักเท่านั้น—มันทำให้สายการผลิตหยุดทำงานด้วย ความคลาดเคลื่อนของอุณหภูมิระหว่างการอบ photoresist แบบ soft bake และ hard bake ทำให้ขนาดวิกฤตหลุดจากเป้าหมาย และการให้ความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอบนเวเฟอร์ส่งผลให้ความสามารถในการทำซ้ำต่ำ การเปลี่ยนหลอดไฟ Mattson RTP ออกแบบมาเพื่อรักษาการควบคุมอุณหภูมิให้คงที่อยู่ภายในหน้าต่างกระบวนการอย่างแม่นยำ
นี่คือสิ่งสำคัญภายใต้สมรรถนะ
โมดูลหลอดฮาโลเจนของเราส่งพลังงานคลื่นสั้นสำหรับการเพิ่มและลดอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว ปกป้องงบประมาณความร้อนในขณะที่รักษาการเพิ่มเกินเป้าหมายให้น้อยที่สุด ความสม่ำเสมอบนระดับเวเฟอร์อยู่ภายใน ±0.1°C ดังนั้นโปรไฟล์การอบทั้งแบบ soft bake และ hard bake จะสอดคล้องกับสูตรอย่างเคร่งครัดโดยไม่มีความผิดพลาดที่ขอบแผ่น
หุ้มด้วยควอตซ์และรูปร่างเส้นลวดที่ออกแบบมาอย่างแม่นยำช่วยลดการสร้างฝุ่นหรืออนุภาคให้เกือบเป็นศูนย์ ซึ่งช่วยปกป้องสภาพแวดล้อมของห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และป้องกันการสูญเสียผลผลิตจากการปนเปื้อนระดับจุลภาค กำลังส่งแสงยังคงเสถียรภายในความคลาดเคลื่อนที่เข้มงวดเกิน 5,000 ชั่วโมง และอินเทอร์เฟซตรงตามมาตรฐานการเชื่อมต่อและการติดตั้งของ Mattson จึงทำให้งานบูรณาการทำได้ง่าย
คุณไม่ต้องการความวุ่นวาย—คุณต้องการเวลาทำงานและความสามารถในการทำซ้ำ
การเปลี่ยนหลอดนี้ช่วยให้ความร้อนในห้องทำงานอยู่ในระดับที่สูตรกำหนด ซึ่งลดข้อบกพร่องของ photoresist และควบคุมความผันแปรความกว้างเส้นบนเวเฟอร์ได้ทั่วทั้งล็อต ผลลัพธ์คืออัตราผลผลิตกระบวนการที่สูงขึ้นและงานแก้งานซ้ำที่น้อยลง ในขณะที่กำลังส่งหลอดที่เสถียรช่วยลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผนไว้และลดค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษาฉุกเฉิน
รวมทั้งยังช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการใช้พลังงานด้วย ความสม่ำเสมอของการแผ่รังสีและการควบคุมที่แม่นยำหมายถึงความร้อนที่สูญเปล่าลดลงและการชดเชยสูตรซ้ำๆ น้อยลง
คำแนะนำปฏิบัติเล็กน้อยก่อนทำการเปลี่ยนหลอด
การติดตั้งขึ้นอยู่กับเครื่องมือ: ต้องตรวจสอบความยาวหลอด ฐาน และขั้วต่อให้ตรงกับรุ่นห้องทำงานของคุณ และจัดแนวเส้นทางแสงเพื่อหลีกเลี่ยงจุดร้อน ควรวางแผนการเปลี่ยนหลอดเชิงป้องกันตามจำนวนชั่วโมงที่ระบุของหลอดเพื่อป้องกันการคาดเดาไม่ได้ของการเปลี่ยนแปลงกำลังส่งแสง
โมดูลนี้เข้ากันได้กับอุปกรณ์มาตรฐานของ Mattson แต่หากมีการเปลี่ยนแปลงส่วนที่มีมวลความร้อน เช่น การใช้ susceptor หรือการเคลือบที่ต่างออกไป อาจจำเป็นต้องทำการทดสอบคุณสมบัติของโปรไฟล์การอบใหม่อย่างรวดเร็วเพื่อรักษาความสม่ำเสมอตามที่ต้องการ