อย่าปล่อยให้หลอดไฟที่ใช้ในการให้ความร้อนมาทำลายแผ่นเวเฟอร์ของคุณอีกเลย
หากคุณใช้ห้องสะอาดระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีว่ามันน่ารำคาญแค่ไหน แค่มีฝุ่นเพียงเม็ดเล็กๆ เพียงเม็ดเดียว—ซึ่งคุณมองไม่เห็นด้วยตาเปล่า—ก็ทำให้แผ่นเวเฟอร์ทั้งชุดของคุณกลายเป็นขยะไปเลย มันน่าหงุดหงิดจริงๆ
ปัญหาก็คือ หลอดไฟ IR แบบปกติมักเป็นสาเหตุของปัญหานี้ หลอดไฟเหล่านี้จะปล่อยก๊าซหรืออนุภาคขนาดเล็กออกมา ซึ่งเหมือนกับการสร้างฝุ่นขึ้นมาในบริเวณที่คุณไม่อยากให้มีฝุ่นเลย
เราแก้ปัญหานี้โดยใช้ควอตซ์บริสุทธิ์สูงมาเป็นส่วนประกอบของหลอดไฟ
เหตุผลที่ควอตซ์มีความสำคัญ
แก้วส่วนใหญ่มักมีสิ่งปนเปื้อนที่เป็นโลหะอยู่ แต่เราใช้ควอตซ์สังเคราะห์ เพราะมันสามารถกำจัดสิ่งปนเปื้อนเหล่านั้นออกไปได้หมด
ควอตซ์ไม่เพียงแต่ช่วยในการถ่ายเทความร้อนเท่านั้น แต่ยังช่วยป้องกันไม่ให้เกิดฝุ่นหรือสิ่งปนเปื้อนอื่นๆ อีกด้วย เราปรับแต่งพื้นผิวของควอตซ์ให้มีความเสถียรทางเคมี ดังนั้น เมื่อหลอดไฟอยู่ในอุณหภูมิสูงสุด ก็จะไม่มีสิ่งใดหลุดออกมาสู่สภาพแวดล้อมรอบๆ แผ่นเวเฟอร์เลย ทำให้แผ่นเวเฟอร์ยังคงสะอาดอยู่
การปรับอุณหภูมิให้เหมาะสม
ความแม่นยำเป็นสิ่งสำคัญมาก คุณต้องหาจุดสมดุลระหว่างกำลังไฟกับพื้นที่ผิวให้ได้
เราปรับแต่งหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถส่งพลังงานในรูปแบบคลื่นอินฟราเรดได้อย่างมีประสิทธิภาพ พลังงานจะแทรกผ่านพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็ว แต่ไม่ทำให้ส่วนประกอบอื่นๆ รอบๆ แผ่นเวเฟอร์เสียหาย คุณจะได้รับอุณหภูมิที่สม่ำเสมอตลอดพื้นที่ของแผ่นเวเฟอร์ นั่นคือเป้าหมายของเรา
ข้อควรระวัง: ต้องระมัดระวังในการใช้งาน
ควอตซ์บริสุทธิ์สูงมีความเสถียรทางเคมีสูง แต่ก็มีความเปราะบางทางกายภาพเช่นกัน
มันไม่สามารถทนต่อแรงกดหรือการสั่นสะเทือนได้เหมือนแก้วที่มีความแข็งแรง หากตัวยึดหลอดไฟมีแรงกดมากเกินไป หรือการดูดซับแรงสั่นสะเทือนไม่ดีพอ ก็อาจทำให้เกิดรอยแตกขึ้นได้ ดังนั้น ต้องให้หลอดไฟมีพื้นที่เพียงพอในการขยายตัวเมื่อมีความร้อนสูงขึ้น
การนำหลอดไฟนี้มาใช้ในกระบวนการผลิต
เราออกแบบหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถนำมาใช้งานได้ง่ายที่สุด เพราะไม่มีใครอยากหยุดการผลิตเพื่อทำการบำรุงรักษาหลอดไฟเลย
ขนาดของหลอดไฟก็เล็ก และการเชื่อมต่อก็แน่นหนา ดังนั้น คุณจึงไม่ต้องกังวลว่าจะมีสิ่งปนเปื้อนเข้ามาในระบบขณะที่คุณกำลังเปลี่ยนชิ้นส่วนต่างๆ
อีกหนึ่งเคล็ดลับคือ ต้องทำให้ระบบดูดอากาศหรือใช้ก๊าซที่ไม่มีปฏิกิริยาทางเคมีสอดคล้องกับอุณหภูมิของหลอดไฟด้วย หากไม่เป็นเช่นนั้น ก็อาจทำให้มีสิ่งปนเปื้อนเกาะอยู่บนควอตซ์ ซึ่งจะทำให้เป้าหมายทั้งหมดล้มเหลวไปเลย