
Karmaşayı Önlemek: Wafer İşlemlerinde Lamba Bozulmalarıyla Başa Çıkma
Dürüst olalım: Yüksek yük altında çalışan bir kurutma sisteminde lamba bozulduğunda bu gerçekten korkunç bir durumdur. Mesele sadece sistemin durması veya rahatsız edici uyarı sesleri değil; aynı zamanda ortaya çıkan dağınıklık da önemli bir sorundur.
Kvarst tüpü patladığında, cam parçaları ve halojen gazları doğrudan waflerin üzerine düşer. Bu da kirlilik tehlikesi anlamına gelir. İşte bu yüzden reflektörlerimizi fiziksel bir güvenlik ağı olarak tasarladık.
Reflektörler nasıl çalışır?
Çoğu kişi reflektörlerin sadece kızılötesi ışınları tekrar substrata yansıttığını sanır. Elbette öyle yapıyorlar. Ancak bizimkileri parça toplamak için de kullanıyoruz. Derin şekilli parabolik yapılar ve sıkı kenar kaplamaları sayesinde parçalar içerde kalır ve kurutma odasına geçmez. Böylece wafleriniz temiz kalır.
Kullanılan malzemeler
Yüksek saflıkta alüminyum ve özel yansıtıcı kaplamalar kullanarak kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınlardan en iyi şekilde yararlanılır. Amacımız, lambayı aşırı yüklemeye gerek kalmadan gerekli ısı yoğunluğunu sağlamaktır. Lambayı aşırı zorlamak genellikle onun bozulmasına neden olur. Ancak havalandırma sistemine de dikkat etmek gerekir. Eğer ünite çok ısınırsa, kaplama bozulabilir ve verimlilik düşebilir. Her şey denge üzerine kuruludur.
Basit tutmak
Biz de sizin gibi zahmetli bakımlardan nefret ediyoruz. Bu yüzden bunları hızlıca değiştirebileceğiniz şekilde tasarladık. Lambayı ve reflektörü tek bir ünite olarak çıkarabilirsiniz. Bu oldukça hızlıdır. Ayrıca bu sayede sistemle uğraşırken yanlışlıkla yabancı parçaların sisteme girmesini engellemiş olursunuz.
Bir uyarı daha: Hiçbir koruma sistemi %100 havasız değildir. Parçaların çoğunu engelleriz, ancak arızalanan tüpten çıkan gazları kontrol etmek için sağlam bir vakum veya temizleme sistemi gereklidir.
Son bir ipucu: Reflektörün hizasını her 500 saatte bir kontrol edin. Bu, kvarsta gereksiz gerilime neden olan sıcak noktaların oluşmasını önler.