Isıyı Doğru Yere Göndermek
Çoğu kızılötesi ısıtma sistemi oldukça dağınıktır; enerji her yöne saçılır. Akıllı sensörlerin paketlenmesi sırasında – özellikle de wafer seviyesinde – makinenizin gövdesinin tüm bu ısıyı emmesini istemezsiniz. Isının doğrudan silisyuma ulaşmasını istersiniz. İşte bu yüzden altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz. Bu yöntem, enerjinin boşa harcanmasını engelleyip onu doğru yöne yönlendirmenin bir yoludur.
Neden altın?
Kulağa lüks gibi geliyor, ancak aslında oldukça pratiktir. Altın, kızılötesi ışınları geri yansıtmada mükemmeldir. Yansıtıcı üzerine hassas bir altın tabakası yerleştirerek, sistemin iletmesi gereken ısıyı emmesini engelliyoruz. Böylece geniş ve dağınık bir ışık yerine, odaklanmış bir ışın elde edilir. En iyisi ise, güç kaynağını artırmadan wafer üzerine çok daha fazla ısı gitmesidir. Bu sayede sadece bir araçtan ameliyat aleti haline gelmiş olur.
“Sıcak nokta” sorunu
İşin kötü yanı şudur: Enerjiyi bu kadar yoğun bir şekilde odakladığınızda durum kontrol dışına çıkabilir. Eğer altın kaplama biraz düzensizse veya geometri hafifçe yanlışsa, sıcak noktalar oluşur. Bu durumda wafer zarar görebilir veya sensör paketlemesi tamamen bozulabilir. Odak noktasını ayarlamak için çok zaman harcıyoruz. Enerjinin tüm yüzeye eşit şekilde dağılmasını sağlayarak, bir köşenin aşırı ısınması sonucu ürünlerin bozulmasını önliyoruz.
Tercihler
Hiçbir şey mükemmel değildir. Altın harika olsa da biraz hassastır. Eğer temizlik odası uygun şekilde ayarlanmamışsa veya yanlış temizleme kimyasalları kullanılırsa, kaplama soyulabilir veya okside olabilir. Verimlilik artışını, bu yüzeyleri korumak için gereken çaba ile dengelemek gerekiyor. Ayrıca, daha fazla ısıyı daha küçük bir alana yönlendirdiğimiz için soğutma sistemlerinin de yeterli olması gerekir. Eğer soğutma sistemleri waferin kenarlarındaki ısıyı idare edemezse, substrat aşırı ısınacaktır. Son bir ipucu: Güç kaynağınızın güvenilir olduğundan emin olun. Herhangi bir voltaj dalgalanması veya düşüşü, kızılötesi dalgaboyunu anında değiştirebilir ve bu da işlem sıcaklığını bozar.