На виробничій лінії достатньо лише 0,5°C зміни температури під час процесу обробки фотополімеру, щоб зіпсувати віфер діаметром 300 мм. Контроль температури – це не якась другорядна функція; це саме той параметр, який визначає якість продукту. Ми створили нашу платформу для нагріву з використанням ближнього інфрачервоного світла, щоб забезпечити однорідність температури на всій поверхні віфера на рівні ±0,1°C. Це дозволяє зберігати критичні розміри встановлених значень протягом усього процесу обробки.
Що є важливим у цьому процесі
Ми використовуємо джерела випромінювання ближнього інфрачервоного спектру разом із елементами з вуглецевих волокон, які дозволяють швидко досягати потрібної температури без перевищення її значень. Закритий контур керування забезпечує стабільну температуру по всій поверхні віфера, навіть коли процес триває менше хвилини. У конструкції передбачений контроль за якістю середовища: використовуються матеріали, які мінімізують виділення газів, фільтроване повітря, а також поверхні, які не створюють частинок під час роботи. Це дозволяє отримувати стабільні результати під час кожного циклу обробки, а також ефективне використання енергії.
Чому це важливо
У процесах літографії та обробки фотополімеру саме однорідність температури визначає точність формування структур та можливість повторення процедури. Наші нагрівачі з ближнього інфрачервоного спектру дозволяють краще контролювати якість поверхні віфера та зменшувати кількість необхідних корекцій. Це призводить до менших відхилень, стабільної якості продукції та можливості планувати час роботи обладнання. Для ліній упакування ця точність дозволяє забезпечити стабільність процесу упакування та надійність з’єднань між компонентами. Це зменшує кількість відходів та необхідності повторної обробки.
Що потрібно врахувати під час планування
Ця платформа відповідає міжнародним стандартам обладнання для виробництва напівпровідників та підходить для існуючих установок. Однак для її інтеграції все одно необхідно звернути увагу на клас чистоти приміщення, системи відведення повітря та умови живлення. Очікуйте короткий час на налаштування параметрів системи; після цього вона буде працювати з мінімальними корекціями.