Як осушити пластини MEMS без проблем
Осушення пластин сенсорів MEMS – це складний процес. Необхідно якомога швидше позбутися води з поверхні пластини, але якщо діяти занадто різко, можна спричинити теплові стреси чи залишити на поверхні шкідливі залишки.
Наша порада полягає у використанні інфрачервоних нагрівачів у поєднанні з відбивачами, покритими золотом. Це звучить складно, але насправді йдеться про те, щоб тепло потрапляло безпосередньо на поверхню пластини, а не нагрівало внутрішню частину пристрою.
Чому саме золото?
Уявіть собі звичайну кварцову лампу – вона випромінює тепло в усіх напрямках. У типовій конфігурації майже половина енергії йде даремно. Якщо покрити відбивач високочистим золотом, можна повернути близько 98% інфрачервоного світла назад туди, де воно має бути.
Це не лише допомагає зменшити витрати на електроенергію. Йдеться також про ефективність нагрівання. Коли енергія концентрується на одній площі, досягається бажана температура значно швидше. Це призводить до скорочення часу обробки та збільшення продуктивності. Це справжній „виграш-виграш“.
Складність процесу
Звісно, не можна просто підвищити потужність нагрівача та закінчити все. При такій високій температурі корпус лампи сильно страждає. Якщо потік повітря не налаштований належним чином, філаменти будуть перегоряти значно швидше, ніж слід.
Ми намагаємося зробити корпус лампи мінімальним, водночас забезпечуючи максимальну ефективність нагрівання. Мета – створити однорідний тепловий профіль. Не можна допустити, щоб краї пластини піддавалися надмірному нагріванню, тоді як центр все ще залишався вологим.
Правильна налаштування
Ще одна важлива річ – це правильне розташування лампи. Якщо лампа зміщена навіть на кілька міліметрів, фокус відбивача змінюється. У результаті на поверхні пластини з’являються холодні точки, і все починається значно спочатку.
Рекомендуємо використовувати жорсткі кріплення для лампи. Вони забезпечують її надійне кріплення, навіть коли система вібрує. Це дозволяє зберігати однорідну температуру на всій поверхні сенсора.