Чому ми відмовляємося від використання гарячого повітря на користь інфрачервоного опалення у фабриках з обробки напівпровідників
Якщо ви коли-небудь працювали у сфері обробки напівпровідників, то знаєте про проблеми, пов’язані з використанням традиційного гарячого повітря. По суті, йдеться про нагрівання величезної кількості повітря з метою передачі цього тепла на пластину. Але цей процес є повільним – це все одно, що намагатися нагріти кімнату за допомогою обігрівача: спочатку потрібно, щоб повітря нагрілося, а вже потім об’єкт.
Інфрачервоне опалення усуває цю проблему – енергія надходить безпосередньо на поверхню пластини. Не потрібно чекати, поки повітря нагріється.
Час – це ключовий фактор
Найбільшою проблемою при використанні гарячого повітря є необхідність чекання. Доводиться витрачати хвилини, а іноді навіть більше часу, на очікування, поки камера стабілізується. Це дуже повільно.
Лампи інфрачервоного опалення, навпаки, працюють миттєво. Достатньо лише повернути перемикач – і через кілька секунд досягається бажана температура.
У фабриках з великою кількістю завдань це має велике значення. Якщо можна скоротити час обробки на 30 секунд, це може здатися незначним, але якщо множити це на тисячі завдань… Це означає значне збільшення продуктивності.
Точне розташування тепла
Усі ми стикалися з проблемою „холодних точок“ на пластинах діаметром 300 мм. З використанням гарячого повітря доводиться складно налаштовувати всю систему подачі повітря, щоб краї пластини також нагрівалися.
Інфрачервоне опалення дозволяє точно контролювати розподіл тепла. Ми можемо розміщувати лампи в певних координатах, щоб тепло потрапляло саме туди, де потрібно. Це дозволяє ефективніше контролювати процес нагрівання, без необхідності переміщувати великі об’єми повітря.
Крім того, обладнання є менш громіздким. Не потрібно використовувати великі вентилятори та комунікації – це дозволяє звільнити простір у чистій кімнаті.
Але є й недоліки
Інфрачервоне опалення не є ідеальним рішенням для всіх ситуацій. Оскільки тепло є дуже концентрованим, існує ризик пошкодження поверхні пластини, якщо контролери температури не налаштовані правильно. Тож потрібні пристрої з швидкою реакцією, щоб уникнути перегріву.
Крім того, лампи споживають велику кількість електроенергії через мить запуску. Якщо електрощитка є застарілою чи не відповідає вимогам, можуть виникнути проблеми з роботою обладнання.