Перестаньте марнувати час: чому використання інфрачервоних нагрівачів є логічним рішенням
Якщо ви коли-небудь працювали у сфері обробки напівпровідників, ви знаєте, як це виглядає. Доводиться чекати – чекати, поки все нагріється, чекати, поки все охолоне. Довгий час ми використовували примусову циркуляцію повітря для нагріву, але перехід на інфрачервоні нагрівачі, придатні для роботи в вакуумі, змінює весь процес.
Усе зводиться до того, як тепло потрапляє на пластину. Конвекція повітря – це все одно, що намагатися нагріти кімнату за допомогою вентилятора – це займає багато часу, адже повітря мусить передавати енергію. А у умовах високого вакууму? Повітря взагалі не існує. Неможливо передати енергію того, чого немає. Інфрачервоні нагрівачі уникають цієї проблеми – вони посилають електромагнітне випромінювання прямо на об’єкт нагріву.
Це відбувається миттєво. Той „термічний затримку“, який ми всі ненавидимо у системах з використанням повітря, зникає. Не потрібно нагрівати повітря, потім стіни, а потім саму пластину. Завдяки короткохвильовим інфрачервоним лампам енергія потрапляє прямо на об’єкт нагріву. Це дозволяє скоротити час нагріву та охолодження на 60–80%. Коли ваш завод працює 24/7, заощаджені хвилини дозволяють обробляти значно більшу кількість пластин на годину.
Але не можна просто покласти будь-яку лампу у вакуум. Ми використовуємо спеціальні кварцові оболонки та герметики – адже вивільнення речовин у вакуум є серйозною проблемою. Якщо нагрівач випускає хімічні речовини у вакуум, це призведе до забруднення силіцію та порушення стану вакууму. Це серйозна проблема. Тож ми створюємо нагрівачі, які є компактними, але водночас потужними – це дозволяє досягти високої щільності тепла саме там, де це необхідно, без необхідності перетворення всього вакуумного простору на піч.
Чесно кажучи, інфрачервоне нагрівання не є чарівною зброєю. У нього є свої недоліки. Оскільки передача тепла відбувається дуже швидко, легко перевищити бажану температуру. Якщо параметри системи керування не налаштовані правильно, температура може значно перевищити бажаний рівень. Також є проблема відбиття випромінювання – якщо стіни камери не призначені для такого типу випромінювання, тепло буде нагрівати дороге обладнання, а не сам об’єкт обробки.
Наша порада: використовуйте теплозахисні екрани, покриті золотом. Це дозволяє зосередити енергію саме на пластині, запобігти її втратам та не перевантажувати систему охолодження.