فیکٹری کے ماحول میں، وہ پتلی بیٹری سیپریٹر فلم کوئی عام پرت نہیں ہے؛ بلکہ یہ پورے سسٹم کا ایک اہم حصہ ہے، اور اسے ہر بار بیکنگ کے عمل میں استعمال کیا جاتا ہے۔ اگر درجہ حرارت میں تھوڑی سی بھی تبدیلی ہو جائے، تو یہ فلم میں موجود رساؤ کو جمع کر سکتی ہے، یا فلم میں بلبلے پیدا ہو سکتے ہیں، یا فلم غیر یکساں طور پر سکڑ سکتی ہے۔ ایسی صورت میں بجٹ ضائع ہو جاتا ہے۔ لہذا ضروری ہے کہ ڈرائر اس فلم کو ایک اہم پرت کے طور پر ہی استعمال کرے، نہ کہ صرف ایک عام استعمال شدہ پرت کے طور پر۔
وہ چیزیں جو واقعی اہم ہیں
ہم نے اس ڈرائر کو تیز رفتار، یکساں حرارتی عمل کے لئے ڈیزائن کیا ہے، اور اس میں شارٹ-ویو انفراریڈ کا استعمال کیا گیا ہے تاکہ درجہ حرارت کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکے۔ اس سسٹم میں ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر ہی رکھا جاتا ہے، اور فوٹوریزسٹ کے عمل میں درجہ حرارت کو بھی ایک مخصوص حد کے اندر ہی رکھا جاتا ہے۔ یہی وجہ ہے کہ اہم ابعاد مستحکم رہتے ہیں۔ یہ سسٹم کلاس 1 سے لے کر کلاس 100 تک کے کلین روموں میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، اور ہاٹ زون کو ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ اس میں کوئی ذرہ بھی پیدا نہ ہو، اور اس کی تصدیق بھی ان-سیٹو پارٹیکل مانیٹرنگ سے کی جاتی ہے۔
قابل اعتمادی: یہ صرف ایک نعرہ نہیں، بلکہ ڈیزائن کا ایک اہم ہدف ہے
یہ ڈرائر 24/7 کام کرتا ہے، اور اس میں کوئی غیرمتوقع خرابی نہیں ہوتی۔ لیمپ ماڈیول 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک کام کر سکتا ہے، اور اس کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی واقع نہیں ہوتی۔
یہ ڈرائر بیٹری سیپریٹر فلم کی پروسیسنگ کے لئے کیوں مناسب ہے؟
یہ ڈرائر لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ کے عمل سے پہلے ہی استعمال کیا جاتا ہے۔ یہ فلم سے باقی رہنے والے نمی اور رساؤ کو تیزی سے خارج کر دیتا ہے، بغیر کسی حرارتی شاک کے۔ اس طرح فلم بالکل خشک اور یکساں حالت میں ہی پروسیسنگ کے لئے تیار ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، فضلہ کم ہو جاتا ہے، اور پیداواری شرح بھی مستحکم رہتی ہے۔
توانائی کی کھپت بھی کنٹرول میں ہے
ہیٹر کی ساخت ایسی ہے کہ یہ صرف ضرورت کے وقت ہی گرم ہوتا ہے، اور درجہ حرارت کو برقرار رکھتا ہے۔ اس طرح ہر بیچ میں کم توانائی خرچ ہوتی ہے۔
عملی تفصیلات
یہ ڈرائر موجودہ فیکٹری آلات کے ساتھ آسانی سے استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن اس کے لئے الگ سے بجلی کی فراہمی اور مناسب اخراجی نظام کی ضرورت ہے، تاکہ درجہ حرارت مستحکم رہے۔ کمیشننگ کے دوران درجہ حرارت کی تصدیق ضرور کی جائے، تاکہ کلین روم کے ماحول کے معیارات پورے ہوں۔