فیب فلور پر، فوٹوریزسٹ کو بھوننے کے دوران صرف 0.5 ڈگری سیلسیس کا فرق ہی 300 ملی میٹر والے ویفر کو بیکار کرنے کے لئے کافی ہے۔ درجہ حرارت کا کنٹرول کوئی ثانوی عمل نہیں ہے؛ بلکہ یہی وہ عنصر ہے جس پر پورا عمل منحصر ہے۔ ہم نے اپنا NIR حرارتی نظام ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ ویفر کا درجہ حرارت ±0.1 ڈگری سیلسیس کے اندر رہے، تاکہ نرم اور سخت بھوننے کے عمل کے دوران بھی ویفر کی خصوصیات برقرار رہیں۔
کیا اہم ہے؟
ہم نیئر-انفراریڈ (NIR) ریڈیئنٹ سورسز کا استعمال کرتے ہیں، اور ان کے ساتھ تیز ردِعمل والے کاربن فائبر عناصر بھی استعمال کیے جاتے ہیں، تاکہ درجہ حرارت میں تیزی سے تبدیلی ہو سکے، لیکن اس کے ساتھ ہی درجہ حرارت کو مستحکم بھی رکھا جا سکے۔ کلوزڈ-لوپ کنٹرول کی بدولت، ویفر کے پورے رقبے پر درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے، حتیٰ کہ جب بھوننے کا عمل ایک منٹ سے بھی کم وقت میں مکمل ہو جائے۔ کلین روم کے معیارات کو بھی ڈیزائن میں شامل کیا گیا ہے: کم گیس خارج کرنے والے مواد، فلٹر شدہ ہوا کے راستے، اور ایسی سطحیں جو عمل کے دوران کوئی ذرات پیدا نہ کریں۔ اس طرح، ہر شفٹ میں درجہ حرارت کی قیمتیں یکساں رہتی ہیں، اور توانائی کا استعمال بھی صرف عمل کے وقت کے لحاظ سے ہوتا ہے، نہ کہ غیرضروری حرارت کے لئے۔
اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں، درجہ حرارت کی یکسانیت ہی CD اور پروفائل کی تکرار کو یقینی بناتی ہے۔ ہمارے NIR ہیٹرز، جدید چپس کے درجہ حرارتی معیارات کے مطابق ہیں، جس سے لائنوں کی سطح کی ہمواری کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں، عمل کے دوران کم تغیرات ہوتے ہیں، پیداوار مستحکم رہتی ہے، اور سسٹم مسلسل کام کرتا رہتا ہے۔ پیکیجنگ لائنوں میں، یہی درستگی مستقل پروسیسنگ اور مضبوط بندھن کو یقینی بناتی ہے؛ اس طرح، بیکار کام اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔
کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
یہ پلیٹ فارم بین الاقوامی سیمیکنڈکٹر آلات کے معیارات پر پورا اترتا ہے، اور موجودہ آلات کے ساتھ بھی استعمال کیا جا سکتا ہے۔ لیکن اسے استعمال کرنے کے لئے کلین روم کے معیارات، ہوا کے راستوں، اور بجلی کی فراہمی کا خیال رکھنا ضروری ہے۔ پیرامیٹرز کو درست کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے؛ لیکن ایک بار پیرامیٹرز درست ہو جانے کے بعد، سسٹم بغیر کسی ترمیم کے مسلسل کام کرتا رہتا ہے۔