Ngăn chặn bụi bẩn: Giải pháp làm nóng hiệu quả hơn cho nhà máy sản xuất bán dẫn của bạn
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại 100, chắc hẳn bạn đã hiểu rõ tầm quan trọng của việc giữ cho môi trường trong phòng sạch luôn sạch sẽ. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hoặc khí thải từ những chiếc bộ sưởi rẻ tiền cũng có thể làm giảm chất lượng của các wafer được sản xuất ra. Điều này thật đáng thất vọng. Bạn đã làm mọi thứ đúng cách, nhưng vẫn gặp sự cố do lỗi từ thiết bị.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng các bóng đèn IR làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Những bóng đèn này được thiết kế riêng cho ngành bán dẫn, nơi mà yêu cầu về độ sạch là rất cao.
Bí quyết nằm ở chính chất liệu thạch anh.
Chúng tôi sử dụng silic nung chảy đã được loại bỏ hết tạp chất. Tại sao ư? Bởi vì khi nhiệt độ tăng cao, các ion kim loại có xu hướng di chuyển. Trong thủy tinh có chất lượng thấp, điều này sẽ dẫn đến việc các hạt bụi nhỏ rơi xuống bề mặt vật liệu được xử lý. Nhưng với chất liệu thạch anh của chúng tôi, điều đó không xảy ra. Chúng tôi còn đánh bóng bề mặt bóng đèn để loại bỏ những vết nhỏ trên bề mặt, nơi mà bụi bẩn thường trú ngụ.
Hãy nói về công suất của bóng đèn.
Những bóng đèn này phát ra năng lượng IR cường độ cao trong bước sóng ngắn. Ưu điểm của chúng là tốc độ đạt nhiệt độ mục tiêu rất nhanh, mà không cần biến toàn bộ buồng sản xuất thành lò nung. Chúng tôi cung cấp nhiều mức điện áp khác nhau để bạn có thể kết nối chúng với hệ thống điện hiện có của mình. Lưu ý rằng những bóng đèn này có cường độ cao; nếu hệ thống làm mát của bạn không đủ mạnh, các khung treo bóng đèn có thể bị biến dạng. Hãy kiểm tra hệ thống làm mát trước khi bật bóng đèn.
Việc lắp đặt chúng không nên gây khó khăn gì cả.
Chúng tôi sử dụng các đầu nối tiêu chuẩn R7 và SK15. Việc thay thế chỉ đơn giản thôi. Bạn không cần phải dành cả cuối tuần để sửa lại toàn bộ hệ thống điều khiển chỉ để nâng cấp bộ sưởi. Hơn nữa, chất liệu thạch anh rất bền về mặt hóa học, vì vậy chúng sẽ không bị hư hỏng ngay cả khi được làm sạch bằng các chất tẩy rửa thông thường.
Một lưu ý nữa nếu bạn muốn thay thế chúng vào hệ thống cũ: hãy kiểm tra các gương phản xạ ánh sáng. Nếu gương bị nghiêng dù chỉ một chút, bạn sẽ gặp các điểm nóng trên bề mặt vật liệu được xử lý. Điều này sẽ làm mất đi lợi ích của việc sử dụng bóng đèn có độ tinh khiết cao. Sau khi lắp đặt xong, hãy kiểm tra lại bản đồ nhiệt để đảm bảo rằng vùng làm nóng là đồng đều.