Trong quy trình sản xuất, chỉ cần có sự sai lệch nhỏ 0,5 độ trong quá trình nung ủ, thì độ dày của các lớp vật liệu trên wafer cũng sẽ bị thay đổi, khiến nhiều wafer trở thành phế phẩm. Chúng tôi đã thiết kế các tấm sưởi bằng tia hồng ngoại bằng gốm để khắc phục tình trạng này – nhờ đó, quá trình gia nhiệt sẽ diễn ra một cách đồng đều, theo đúng quy trình đã định, chứ không phụ thuộc vào điều kiện môi trường xung quanh.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại bằng gốm vì chúng phản ứng nhanh và có khả năng làm nóng chính xác vào vị trí cần thiết, với độ đồng đều ở mức dưới một milimét. Các tấm sưởi này giúp duy trì nhiệt độ của wafer ở mức ±0,1°C. Độ ổn định của nhiệt độ được đảm bảo nhờ hệ thống kiểm soát khép kín và cấu trúc của các bộ phát tia được thiết kế chính xác.
Các thông số hoạt động có thể được thay đổi trong vòng chưa đầy 10 giây, giúp việc chuyển đổi giữa các bước nung ủ diễn ra một cách thuận lợi. Điều này giúp kiểm soát tốt hơn nhiệt độ và bảo vệ chất lượng của wafer. Cấu trúc của các tấm sưởi này phù hợp với môi trường sản xuất sạch: ít khí thải, không tạo ra hạt bụi trong quá trình hoạt động, do đó giúp duy trì môi trường sản xuất ở mức Class 1–100.
Tại sao giải pháp này phù hợp với những thách thức trong quy trình sản xuất
Các tấm sưởi này giúp giải quyết những vấn đề phát sinh trong quá trình xử lý wafer: quá trình nung ủ cần phải diễn ra một cách đồng đều và chính xác. Độ đồng đều ở mức dưới một milimét giúp giảm thiểu các khuyết tật ở mép wafer, kiểm soát chính xác kích thước của wafer, và giảm số lượng wafer bị hỏng.
Khả năng phản ứng nhanh của các tấm sưởi giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời đảm bảo độ ổn định của quá trình nung ủ. Điều này giúp giảm chi phí tái xử lý. Ngoài ra, việc chỉ làm nóng vùng cần thiết còn giúp tiết kiệm năng lượng. Trong quá trình đóng gói và sấy khô wafer, độ chính xác cao giúp tăng độ bám dính và độ đồng đều của quá trình sấy khô, từ đó giảm số lần lặp lại quy trình và tăng hiệu suất sản xuất.
Những điều cần lưu ý
Các tấm sưởi này có thể được lắp đặt trực tiếp vào các bộ phận nung ủ hiện có, nhưng việc đối chiếu chính xác với mặt phẳng của wafer là rất quan trọng. Độ chính xác của việc lắp đặt phải nằm trong khoảng 0,1 mm; nếu không, chất lượng sản phẩm sẽ bị ảnh hưởng.
Hãy đảm bảo rằng điện áp hoạt động và hệ thống làm mát luôn nằm trong giới hạn cho phép. Ngoài ra, cần giữ cho môi trường xung quanh luôn khô ráo để đảm bảo độ ổn định lâu dài. Nếu môi trường có độ ẩm cao, bạn có thể thêm một lớp bảo vệ mà không ảnh hưởng đến tốc độ phản ứng của các tấm sưởi.
Dự kiến tuổi thọ của các tấm sưởi này lên đến 5.000 giờ, với mức suy giảm hiệu suất dưới 5%. Bạn nên lên kế hoạch bảo trì định kỳ, chứ không nên chờ đến khi xảy ra sự cố.