Hãy ngừng để các bóng đèn sưởi hại hỏng các tấm wafer của bạn đi!
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, chắc hẳn bạn đã hiểu rõ mức độ khó khăn này. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ thôi – thứ mà con người không thể nhìn thấy được – cũng đủ khiến toàn bộ lô wafer trở thành rác thải. Thật là phiền phức.
Vấn đề nằm ở chỗ các bóng đèn hồng ngoại thông thường chính là nguyên nhân gây ra tình trạng này. Chúng giải phóng các hạt vi mô từ vỏ bọc của mình, tức là chúng hoạt động như những “nhà máy sản xuất bụi” ngay tại nơi mà chúng ta không thể chấp nhận điều đó.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng chất liệu thạch anh nguyên chất làm thành phần cấu tạo bóng đèn.
Tại sao thạch anh lại quan trọng?
Hầu hết các loại thủy tinh đều chứa tạp chất kim loại. Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp vì chất liệu này có thể loại bỏ hết những tạp chất đó. Ngoài việc truyền nhiệt, thạch anh còn ngăn chặn hiện tượng giải phóng các hạt bụi. Bề mặt của thạch anh được xử lý sao cho không bị phản ứng hóa học. Điều này đồng nghĩa với việc khi bóng đèn đạt đến nhiệt độ tối đa, sẽ không có chất gì thoát ra ngoài môi trường xung quanh. Như vậy, bề mặt bóng đèn sẽ luôn sạch sẽ.
Làm thế nào để kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác?
Độ chính xác là yếu tố quan trọng nhất ở đây. Bạn cần tìm được sự cân bằng hoàn hảo giữa công suất và diện tích bề mặt. Chúng tôi đã điều chỉnh các bóng đèn sao cho chúng phát ra ánh sáng hồng ngoại cường độ cao. Năng lượng từ ánh sáng sẽ nhanh chóng xuyên qua bề mặt wafer, nhưng lại không làm hỏng các bộ phận xung quanh. Nhờ đó, nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer sẽ được duy trì ở mức ổn định. Đó chính là mục tiêu mà chúng tôi hướng tới.
Lưu ý quan trọng: Hãy cẩn thận khi sử dụng bóng đèn này. Thạch anh nguyên chất có tính chất hóa học rất mạnh, nhưng về mặt vật lý thì nó khá mong manh. Nó không thể chịu được những tác động cơ học mạnh như thủy tinh cường lực. Nếu các khớp kết nối không được thiết kế chặt chẽ, hoặc hệ thống giảm chấn không hoạt động tốt, bóng đèn có thể bị nứt. Hãy đảm bảo rằng vỏ bọc bóng đèn có đủ không gian để nó giãn nở khi nóng lên.
Cách lắp đặt bóng đèn vào hệ thống của bạn
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho có thể lắp đặt một cách dễ dàng. Không ai muốn phải tạm ngừng hoạt động hệ thống để bảo trì bóng đèn cả. Kích thước của bóng đèn khá nhỏ, và các thiết bị kết nối cũng rất chắc chắn. Như vậy, bạn sẽ không vô tình mang theo các chất bẩn vào hệ thống khi thay thế linh kiện.
Một lưu ý cuối cùng: Hãy đảm bảo rằng hệ thống hút chân không hoặc bơm khí trơ hoạt động đồng bộ với bóng đèn. Nếu chúng không hoạt động đồng bộ, các chất bẩn có thể tích tụ trên bề mặt thạch anh, và điều đó sẽ làm mất đi hiệu quả của bóng đèn.