如何让MEMS晶圆快速干燥，同时避免各种问题？
干燥MEMS传感器晶圆需要巧妙地控制温度。虽然需要尽快去除水分，但如果处理不当，就有可能导致热应力或残留物问题。
我们发现的解决方案是使用红外线加热器，再搭配镀金反射器。听起来很复杂，但实际上只是为了确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是让机器内部过热而已。
为什么选择黄金作为反射材料？
普通石英灯会向各个方向散发热量。在常规情况下，有一半的能量都被浪费掉了。而通过为反射器加上高纯度的黄金涂层，我们可以将大约98%的红外光反射回原来的位置。
这不仅能降低电费，还能提升效率。因为当热量集中在每平方厘米上时，就能更快达到目标温度。这样一来，处理时间就会缩短，生产效率也会提高。可谓一举两得。
难点在于……
当然，不能简单地增加功率就行。因为如此高的温度会对灯的壳体造成很大的负担。如果空气流动不当，无法将热量从电路连接处带走，那么灯丝就会过早烧毁。
我们的目标是保持设备尺寸尽可能小，同时让加热区域尽可能有效。这样就能确保整个传感器表面的温度均匀，避免晶圆边缘被烤焦，而中心部分仍然保持湿润状态。
对准非常重要
最后一点：对准至关重要。如果灯的位置偏差几毫米，那么镀金反射器的焦点也会随之改变。这样一来，晶圆上就会出现温度不均的情况，一切又得重新开始。
我们建议使用坚固的固定装置，这样即使系统有振动，灯的位置也能保持稳定。这样才能确保每次加热时，整个传感器表面的温度都保持一致。