半导体洁净室手推车加热器

如何保持100级洁净室的清洁状态 在运行100级洁净室时，最不希望看到的情况就是加热元件产生颗粒物质，从而污染工作区域。这简直是一场噩梦。大多数普通的电阻式加热器在加热和冷却过程中都会出现碎片或释放出金属杂质的情况。 因此，我们在半导体加工设备中使用了高纯度的合成石英作为红外灯的材质。因为这种材料...