简介 说实话，在半导体制造领域，控制成本并非仅仅是一个目标，而是一项需要持续努力的任务。因此，我们开发出了这样一种产品：一种可直接替换的红外卤素灯。它具有出色的加热性能，但价格却不会让人觉得过于昂贵。 这种升级方案能带来极高的投资回报率，同时无需牺牲设备的可靠性或运行效率。您不仅能获得RTP系统所...

在制造车间，一个RTP工具中的灯管故障不仅仅是停掉一个腔室—它会导致整条生产线停滞。在光刻胶的软烘焙和硬烘焙过程中，温度漂移会使关键尺寸偏离目标，而晶圆上的非均匀加热使得可重复性变得不确定。Mattson RTP灯管更换设计旨在将热控制保持在所需位置：在工艺窗口内。 以下是关键点。 我们的卤素灯模...