ফ্যাব ফ্লোরে, সেই পাতলা ব্যাটারি সেপারেটর ফিল্মটি কোনো অপ্রয়োজনীয় স্তর নয়—এটা প্রক্রিয়ার অংশ। প্রতিবার বেকিং করার সময় এটাকে নিয়মিতভাবে কাজ করতে হয়। যদি তাপমাত্রা সামান্যও পরিবর্তিত হয়, তাহলে ফিল্মটিতে দ্রবণ জমে যেতে পারে, বা এটি অসমানভাবে সংকুচিত হয়ে যেতে পারে। এর ফলে খরচ বেড়ে যায়। আপনার দরকার এমন একটি ড্রায়ার, যা ফিল্মটিকে একটি গুরুত্বপূর্ণ স্তর হিসেবে বিবেচনা করে, শুধুমাত্র একটি সাধারণ উপকরণ হিসেবে নয়।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ? আমরা দ্রুত ও সমানভাবে তাপ সরবরাহ করার জন্য এই ড্রায়ারটি তৈরি করেছি। অ্যাক্টিভ জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা +/-0.1°C এ থাকে; আর ফটোরেসিস্ট বেকিং প্রক্রিয়াটিও নির্দিষ্ট সীমার মধ্যেই ঘটে। কারণ এই নিয়মিততাই গুরুত্বপূর্ণ ডাইমেনশনগুলোকে স্থিতিশীল রাখে। এই সিস্টেমটি ক্লাস 1 থেকে ক্লাস 100 পর্যন্ত ক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ত। হট জোনটি এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে কোনো ধরনের কণা তৈরি না হয়; এটা ইন-সিটু পার্টিকেল মনিটরিং দ্বারা নিশ্চিত করা হয়।
এখানে নির্ভরযোগ্যতা কোনো স্লোগান নয়—এটাই ডিজাইনের লক্ষ্য। এই ডিভাইসগুলো ২৪/৭ কাজ করে, কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধতা নেই। ল্যাম্প মডিউলটি ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে কাজ করতে পারে, আর এর কার্যক্ষমতা ৫% এরও কম হ্রাস পায়।
কেন এটা ব্যাটারি সেপারেটর ফিল্ম প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত? ড্রায়ারটি লিথোগ্রাফি ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ার আগে অবস্থিত। এটি দ্রুত অবশিষ্ট আর্দ্রতা ও দ্রবণগুলো অপসারণ করে—কোনো তাপীয় ধাক্কা ছাড়াই। ফলে ফিল্মটি সমানভাবে শুকিয়ে যায়। এর ফলে পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়, বর্জ্য কমে যায়, আর উৎপাদন ক্ষমতা স্থিতিশীল থাকে।
শক্তি ব্যবহারও নিয়ন্ত্রণে রয়েছে। হিটারটি প্রয়োজন অনুযায়ী তাপ সরবরাহ করে, ফলে প্রতি ব্যাচে কম kWh ব্যবহৃত হয়।
ব্যবহারিক ব্যবস্থার বিবরণ: ড্রায়ারটি বিদ্যমান ফ্যাব টুলগুলোর সাথে সহজেই সংযুক্ত হয়। কিন্তু তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখার জন্য এটার জন্য আলাদা পাওয়ার সরবরাহ ও নির্দিষ্ট এক্সহাস্ট রুটিং প্রয়োজন। বেকিং প্রক্রিয়া ঠিকভাবে চালানো এবং ক্লিনরুমের কণা স্তর নিশ্চিত করার জন্য সংক্ষিপ্ত কমিশনিং প্রক্রিয়া প্রয়োজন।