ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেকের সময় 0.5°C ড্রিফট কেবলমাত্র CD শিফট নয়। এর অনেক কিছু ঝুঁকিতে থাকে। ওয়েফার টুলস 7×24 চলে এবং তাপীয় অস্থিতিশীলতা দ্রুত যুক্ত হয়, তাপীয় বাজেট খায় এবং পুনর্মূল্যায়ন বাধ্যতামূলক করে। আপনাকে এমন একটি তাপমাত্রা সেন্সর প্রয়োজন যেখানে পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা স্পেসিফিকেশন, আলোচনা বিষয় নয়।
প্রযুক্তিগতভাবে যা গুরুত্বপূর্ন
আমরা ওয়েফার টুলগুলোর জন্য এই সেন্সরটি নির্মাণ করেছি যেখানে ওয়েফার-স্তরের তাপীয় ইউনিফর্মিটি ±0.1°C, যাতে প্রতিটি সফট বেক এবং হার্ড বেক একই তাপীয় প্রোফাইল বজায় রাখে, লটের পর লট। এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1 থেকে 100 পর্যন্ত উপযুক্ত এবং কোনও কণাগ্রাহী তৈরি করে না, তাই আপনি সংক্রমণ থেকে ফলন ক্ষতির শিকার হন না। এটি অফুল অবিরত চলে, কোন অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম ছাড়াই, এবং সার্ভিস লাইফ এত দীর্ঘ যাতে পরিবর্তন সহজেই পূর্বাভাসযোগ্য থাকে। ফলস্বরূপ একটি স্থিতিশীল প্রসেস উইন্ডো এবং নির্ভরযোগ্য লিথোগ্রাফি পারফরম্যান্স পাওয়া যায়।
কার্যক্ষেত্রে কেন এটি কার্যকর
ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায়, বেকের তাপমাত্রা নির্ধারণ করে সলভেন্ট অপসারণ এবং পলিমার ক্রস-লিঙ্কিং। কঠোর নিয়ন্ত্রণ ভালো CD ডিস্ট্রিবিউশন এবং কম বিক্ষিপ্ততা নিশ্চিত করে। এই সেন্সরের মাধ্যমে রেসিপি কোয়ালিফিকেশন দ্রুত হয়, রক্ষণাবেক্ষণ পরবর্তী পুনঃযোগ কমে যায়, এবং টুলগুলোর মধ্যে তাপীয় আচরণ সঙ্গতিপূর্ণ থাকে। নিয়ন্ত্রণ লুপ ড্রিফট খোঁজে না বলে শক্তি ব্যবহার কমে এবং রক্ষণাবেক্ষণ নির্ধারিত সময়মতো হয়, প্রতিক্রিয়াশীল অবস্থায় নয়।
পরিকল্পনা করার জন্য যা প্রয়োজন
ইনস্টলেশন টলারেন্স কঠোর: নির্দিষ্ট তাপীয় ভরের সাথে সেন্সরটি সংযুক্ত করুন এবং ±0.1°C ইউনিফর্মিটি অর্জনের জন্য অবস্থান নির্ধারণ করুন। সম্পূর্ণ টুল ইন্টিগ্রেশনের জন্য সময় বরাদ্দ করুন—সাধারণত একটি সংক্ষিপ্ত কোয়ালিফিকেশন রান—কন্ট্রোল লিমিট স্থির করার এবং ক্লিনরুমের কণা সিস্টেম যাচাই করার জন্য। একবার ক্যালিব্রেট করলে, এটি চলমান রাখুন। বন্ধ করা এবং পুনরায় চালু করলে অস্থায়ী আচরণ সৃষ্টি হয় যা প্রকৃত প্রসেস ড্রিফট ঢাকতে পারে।