ভ্যাকুয়াম চেম্বারের তাপমাত্রা ঠিক রাখা
যদি আপনি একটি আধুনিক ফ্যাব প্লান্ট নির্মাণ করছেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই বুঝেছেন যে তাপীয় শক্তি নিয়ন্ত্রণ করা বেশ কঠিন। ভ্যাকুয়াম চেম্বার থেকে বায়ু বের হয়ে গেলে কনভেকশন প্রক্রিয়া বন্ধ হয়ে যায়। এই অবস্থায় কাজটি সম্পন্ন করার জন্য আপনাকে শুধুমাত্র বিকিরণের উপরই নির্ভর করতে হয়।
এখানেই ইনফ্রারেড (IR) সিস্টেমগুলোর ভূমিকা শুরু হয়। এগুলো ভ্যাকুয়ামের বিরুদ্ধে লড়াই করার পরিবর্তে এর সাথে সহযোগিতা করে; কোনো মধ্যবর্তী উপায় ছাড়াই সরাসরি শক্তি পাঠায়।
তাপমাত্রা নিয়ে অনুমান করা বন্ধ করুন
আমরা সবাই সাধারণ রেজিস্টিভ হিটারগুলো ব্যবহার করেছি। সমস্যা হলো, এগুলো ধীরগতির। এগুলো উত্তপ্ত হতে অনেক সময় লাগে, আর ঠান্ডা হতেও আরও বেশি সময় লাগে। PID লুপ নিয়ন্ত্রণ করার সময় এই বিলম্বটা বড় সমস্যা হয়ে দাঁড়ায়। এটা ডেটা লগগুলোকে জটিল করে দেয়, এবং পুরো প্রক্রিয়াটিকে অস্থির করে দেয়।
ইনফ্রারেড হিটারগুলো ভিন্ন। এগুলো তাৎক্ষণিকভাবে কাজ করে। যেহেতু এই হিটারগুলো রিয়েল-টাইমে প্রতিক্রিয়া দেয়, তাই আমরা এগুলোকে সরাসরি PLC-তে সংযুক্ত করতে পারি। আপনি শুধুমাত্র থার্মোকাপল দেখে অনুমান করছেন না; বরং আপনি আপনার ওয়েফারের তাপীয় অবস্থা সঠিকভাবে জানতে পারছেন। এটা হলো কোনো ঘরের তাপমাত্রা অনুমান করার সাথে ঠিক কোথায় উচ্চ তাপমাত্রা রয়েছে তা জানার মধ্যে পার্থক্য।
ভ্যাকুয়াম অবস্থায় কাজ করার বাস্তবতা
ভ্যাকুয়ামের ভিতরে যন্ত্রপাতি চালানো সহজ নয়। প্রথমত, গ্যাস নির্গমন একটি বড় সমস্যা। কেউই নির্মল প্রক্রিয়াকে দূষিত করতে চায় না। এটা রোধ করার জন্য আমরা উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ এবং বিশেষ ধরনের কোটিং ব্যবহার করি।
আর তারপর রয়েছে বিদ্যুৎ সরবরাহের সমস্যা। লাইনটিকে চালু রাখার জন্য আপনি দ্রুত লক্ষ্যমাত্রা অর্জন করতে চান। কিন্তু সমস্যা হলো, উচ্চ ওয়াটেজ ভ্যাকুয়াম অবস্থায় পাঠালে তীব্র তাপ সৃষ্টি হয়। যদি আপনার কুলিং সিস্টেমগুলো যথাযথ না হয়, তাহলে সেলগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যায়। এটা একটি ভারসাম্য বজায় রাখার ব্যাপার।
সঠিক ব্যবস্থা তৈরি করা
কেউই এমন একটি তাপীয় ব্যবস্থা চায় না যা ক্লিনরুমের অর্ধেক জায়গা দখল করে।
শর্টওয়েভ IR ব্যবহার করে আমরা তাপ উৎসটিকে লক্ষ্যস্থলের আরও কাছে নিয়ে আসতে পারি। এর ফলে আমরা বড় আকারের হাউজিং ও ফ্রেমগুলো ব্যবহার না করেই কাজ করতে পারি। এতে পুরো সিস্টেমটি সরল হয়ে যায়।
ফলে, প্রতি বর্গমিটার জায়গায় আরও বেশি ওয়েফার রাখা যায়। আপনার লেআউটটি সরল হয়ে যায়, আপনার জায়গার পরিমাণ কমে যায়, আর আপনার কাজটি আরও সহজ হয়ে যায়।