Sensor on Quartz Infrared Heating Source

Přesný IR senzor pro wafery

Wed, 22 Jul 2026 05:06:21 +0800

Přestaňte nechat své topné lampy ničit vaše destičky

Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten noční můru. Jediný drobný zrnko prachu – něco, co ani nevidíte – a celá vaše série destiček je k ničemu. Je to frustrující.

Problém spočívá v tom, že za to často mohou běžné IR lampy. Uvolňují mikroskopické částice ze svých obalů, v podstatě fungují jako malé „továrny na prach“ právě tam, kde to vůbec nechcete.

Vyřešili jsme to tím, že jsme pro naše topné prvky použili vysoce čistý sférický křemen.

Vyhřívač na sušení destičky senzoru MEMS

Tue, 21 Jul 2026 09:45:59 +0800

Jak vysochout desky MEMS bez problémů

Vysochání desek senzorů typu MEMS je trochu náročné – potřebujete, aby voda zmizela co nejrychleji. Ale pokud budete jednat příliš agresivně, hrozí tepelné napětí nebo zbytky látek na povrchu desky.

Trik, který jsme našli, spočívá v použití infračervených ohřívačů spolu s odrazovými plochami potaženými zlatem. Zní to luxusně, ale ve skutečnosti jde o to zajistit, aby teplo opravdu dopadalo na desku, a ne zahřívalo vnitřní části stroje.

Proč zlato?
Vezměte si běžnou kvartovou lampu – ta vyzařuje teplo do všech směrů. V typické konfiguraci tak vlastně polovinu energie plýtváte.

Chytré balení senzorů pro infračervené světlo

Sat, 18 Jul 2026 04:22:21 +0800

Přesunutí tepla tam, kam opravdu patří

Většina infračervených zdrojů tepla je prostě… neefektivní. Energie se rozptyluje všude kolem. Když pracujete s balením chytrých senzorů – zejména na úrovni polovodičových desek – nechcete, aby celá konstrukce stroje pohlcovala veškeré to teplo. Chcete, aby teplo dopadalo přímo na křemík. Prostě tak.

Proto používáme reflektory pokryté zlatem. Je to v podstatě způsob, jak zabránit plýtvání energií a namísto toho ji nasměrovat správným směrem.

Proč zlato?

Zní to luxusně, ale ve skutečnosti je to prostě praktické řešení. Zlato dokonale odráží infračervené paprsky. Tím, že na reflektor nanесeme vrstvu zlata, zabráníme tomu, aby systém pohlcoval teplo, které má předat.

Zahřívač pro výrobu senzoru vodíku

Sat, 11 Jul 2026 09:09:25 +0800

Udržování čistoty: Realita ohřevu senzorů

Při výrobě vodíkových senzorů může jediná kapka prachu nebo trocha plynu unikajícího z uzávěru zničit celou zásilku. Je to frustrující – jeden malý chyba znamená ztrátu hodin práce.

Proto, když vyrábíme infračervené ohřívače pro tyto účely, nebereme v úvahu pouze teplotu. Zvažujeme také čistotu.

Kvarts
Pro naše lampy používáme syntetický kvarts vysoké čistoty. Proč? Protože běžné sklo nebo levnější materiály mají tendenci se rozpadat nebo uvolňovat částice při zahřátí.

Nikdo nechce, aby se na povrchu senzoru objevily mikroskopické částečky prachu během procesu zasychání. Naše trubice procházejí speciální úpravou, aby na jejich povrchu nezůstaly žádné nežádoucí částice.

Senzor teploty pro nástroj na destičky

Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800

Na výrobní lince znamená posun o 0,5 °C během vypalování fotorezistu víc než posun CD. Hodně je v sázce. Nástroje na plátky běží 7×24, a tepelná nestabilita se rychle sčítá, spotřebovává tepelný rozpočet a vyžaduje opravy. Potřebujete teplotní senzor, kde je opakovatelnost specifikací, ne jen diskutovaným tématem.

Co je technicky důležité
Tento senzor jsme vyvinuli pro nástroje na plátky s tepelnou uniformitou na úrovni ±0,1 °C, aby každý měkký i tvrdý výpal odpovídal stejnému tepelnému profilu, šarže za šarží. Vhodný je do čistých prostor tříd 1–100 a nevytváří žádné částice, takže nehrozí, že by kontaminace ovlivnila výtěžnost. Pracuje nepřetržitě bez neplánovaných odstávek a životnost senzoru je dostatečně dlouhá, aby byla výměna předvídatelná. Výsledkem je stabilní procesní okno a spolehlivý výkon litografie.