http://quartz-ir-heat.com/cs/tags/termopar/ Recent content in Termopar on Quartz Infrared Heating Source Hugo cs Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/cs/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 17 Jun 2026 16:08:24 +0800 http://quartz-ir-heat.com/cs/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Termopar pro polovodičový ohřívač"></p> <p>V provozu výroby není termální rozpočet jen doporučením – je to hranice, kterou nesmíme překročit. I několik stupňů chyby během zpracování fotorezistu má za následek změny v kritických rozměrech po etakování. To okamžitě ovlivňuje úspěšnost výroby. Proto jsme vyvinuli termoelement určený k použití s polovodičovými ohřívači, aby se tato nejistota odstranila v každé fázi procesu.</p> <p>Technicky důležitá je shoda mezi jednotlivými parametry. Specifikujeme termoelement s vysokou citlivostí, který odpovídá geometrii ohřívače a zajišťuje termální uniformitu na úrovni waferu v rozsahu ±0,1 °C. Senzor je zabalen tak, aby vyhovoval podmínkám čisté místnosti třídy 1–100; použité materiály jsou zvoleny tak, aby se minimalizovalo uvolňování plynů a tvorba částic.</p>