http://quartz-ir-heat.com/cs/tags/tool/ Recent content in Tool on Quartz Infrared Heating Source Hugo cs Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/cs/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 06 Jun 2026 04:14:02 +0800 http://quartz-ir-heat.com/cs/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://quartz-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Senzor teploty pro nástroj na destičky"></p> <p>Na výrobní lince znamená posun o 0,5 °C během vypalování fotorezistu víc než posun CD. Hodně je v sázce. Nástroje na plátky běží 7×24, a tepelná nestabilita se rychle sčítá, spotřebovává tepelný rozpočet a vyžaduje opravy. Potřebujete teplotní senzor, kde je opakovatelnost specifikací, ne jen <a href="https://o-yate.com">diskutovan</a>ým tématem.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Tento senzor jsme vyvinuli pro nástroje na plátky s tepelnou uniformitou na úrovni ±0,1 °C, aby každý měkký i tvrdý výpal odpovídal stejnému tepelnému profilu, šarže za šarží. Vhodný je do čistých prostor tříd 1–100 a nevytváří žádné částice, takže nehrozí, že by kontaminace ovlivnila výtěžnost. Pracuje nepřetržitě bez neplánovaných odstávek a životnost senzoru je dostatečně dlouhá, aby byla výměna předvídatelná. Výsledkem je stabilní procesní okno a spolehlivý výkon litografie.</p>